CMS-III型智能化SF6微水測試儀，采用美國PN公司薄膜氧化鋁濕度傳感器，可直接測量介質的露點。并采用了壓力傳感器和電子流量計，可準確測量氣體的壓力和流量而不受工作位置限制。可廣泛應用于各種氣體微水含量的現場測試，如SF6斷路器、GIS組合電器、氫冷機組的氫氣等。
SF6微水測試儀CMS-III儀器內置微處理控制器，微型打印機，存儲器等，可實現在線測量、打印、保存數據及與微機通訊等功能。并采用了大屏幕液晶顯示器，可一屏同時顯示：露點、微升（µ1/1）、壓力、溫度、時間、日期。
CMS-III儀器內帶有快速測量及保護裝置，能在3分鐘左右完成現場測量的全過程。耗氣量是各類微水測試儀器中最少的，每次約2升。不受環境溫度影響。儀器不測試時，濕度傳感器處于低濕狀態的保護環境下，因而測量時儀器不須進行干燥和預處理。
SF6微水測試儀特點：
(1) 便攜式設計：儀器更輕，攜帶、使用方便。
(2) 測量快速：儀器開機后無需等待，即刻測量，快速得到濕度值。
(3) 快速省氣：測定時耗氣僅2L（101.2kPa）左右。
(4) 自鎖接頭：采用德國自鎖頭，安全可靠，無漏氣。
(5) 數據存儲：采用大容量設計，最多可存儲50組測試數據。
(6) 顯示清晰：液晶屏直接顯示露點、微水（ppm）、環境溫度、環境濕度、時間及日期、電池電量等內容。
(7) 內置電源：內置4Ah可充鋰電池，一次充足可連續工作10小時。
SF6微水測試儀技術參數：
| 露點 | 測量范圍 | -60℃~+20℃ |
| 測量精度 | ±2℃ | |
| 測量時間(+20℃) | <3分鐘 | |
| 環境溫度 | -40℃~+60℃ | |
| 環境濕度 | 0~90% RH | |
| 電源 | AC 220V | |
| 內置充電電池 | ||
| 電池性能 | 充電時間20個小時以上，可使用10小時 | |
| 重量 | 3公斤 | |
| 尺寸 | 205*100*300mm | |
| 工作溫度 | -40℃~+80℃ | |
