進口RGL JOINT質量流量控制器GF80
?可以在不停止設備運行的情況下輕松更改氣體類型和流量。
? 可以在不損失精度的情況下更改滿刻度值。
?無需為每個規格保留庫存。
?診斷功能可以檢測主機的異常。
?MultiFlo™技術
?保證零點穩定性的溫度補償電路
?與傳統型號的高兼容性
?橡膠密封或金屬密封
?各種數字通信、ProFibus、RS485的各種模擬I/O（4-20mA、0-20mA、0-5vdc），
具有專用服務端口的診斷功能，方便更改氣體類型和流量值
您可以輕松操作多氣體和多流量軟件，只需將其下載到您的 PC 并將其連接到 MFC，而無需將其從管道上拆下。
| 用法 | ||
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規格表 | |||||
| 流速 | 控制器 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 當量 | |||
| 儀表 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 當量 | ||||
| 準確性 | ±1%SP (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||
| 再現性 | <±0.2%SP | ||||
| 環境溫度范圍 | 5-50℃ | ||||
| 外部泄漏率 | GF40 1×10 -10 Pa?m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa?m3 /s He | ||||
| 輸入/輸出 | 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA | ||||
