特點
◆配置功能強大的FRIMS軟件。
◆花崗石特制的立柱和底座，堅硬變形。
◆穩定高效的閉環控制，高速度，高精度批量檢測。
◆核心部件。
◆優良的裝配工藝。
◆選配激光或接觸式探針系統實現3D測量。
機臺型號 | FVG5040 | FVG7060 | FVG9070 | FVG1210 | FVG1512 | |||
| 機臺結構 | 高精密花崗石承載式龍門結構 | |||||||
| 測量行程X/Y/Z(mm) | 400*500*200 | 600*700*200 | 700*900*200 | 1000*1200*200 | 1200*1500*200 | |||
| 機臺承重 | 100kg | |||||||
| 外觀尺寸LXYZ （mm） | 1550*1100*1580 | 1750*1340*1590 | 2100*1580*1590 | 2500*1850*1590 | 2700*2000*1590 | |||
| 機臺重量 | 2100kg | 2300kg | 2600kg | 2900kg | 3200kg | |||
| 運動控制 | 全閉環4軸自動控制 |
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| 測量精度 | X/Y軸 | E1=（2.5+L/200）μm | ||||||
| Z軸 | E2=（5+L/200）μm | |||||||
| 速度 | X/Y軸 | 500MM/S | ||||||
| Z軸 | 300MM/S | |||||||
| 光源控制 | 表面光 | 五環八區四十項程控式LED冷光源 | ||||||
| 輪廓光 | 程控式LED平行冷光源、256級可調 | |||||||
| 光學系統 | 美國NAVITAR自動變焦鏡頭模組 | |||||||
| 放大倍率 | 光學放大0.7-4.5X影像放大22-145X | |||||||
| 影像系統 | 高靈敏度高分辨率1/2’’CCD黑白/彩色 | |||||||
| 運動系統 | 承載式超精密級THK直線導軌 | |||||||
| 運動控制系統 | YASKAWA AC伺服馬達 | |||||||
| 光柵尺 | 高分辨率光柵尺，分辨率：0.5μm | |||||||
| 工作環境 | 溫度 | 20±2℃ | ||||||
| 濕度 | 35％-65％ | |||||||
| 震動 | 震動＜0.002g，低于15Hz | |||||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | |||||||
