yle="width: 941px; height: 815px;" /> 性能優(yōu)勢：
下照式設(shè)計：可以快速方便地定位對焦樣品。
無損變焦檢測:可對各種異形凹槽進行無損檢測，凹槽深度范圍0-90mm。
微聚焦射線裝置：可檢測面積小于0.002mm2的樣品，可測試各微小的部件。
高效率的接收器：即使測試0.01mm2以下的樣品，幾秒鐘也能達(dá)到穩(wěn)定性。
精密微型滑軌：快速精準(zhǔn)定位樣品。
EFP*算法軟件：多層多元素，甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。
儀器規(guī)格：
外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （長x寬x高）
樣品倉尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （長x寬x高）
儀器重量 ：55kg
供電電源 ：交流220±5V
功率 ：330W
環(huán)境溫度：15℃-30℃
環(huán)境相對濕度：<70%
