2路質量流量計500w等離子清洗機
等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
2路質量流量計500w等離子清洗機KT-Z5KQX
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 500W可調 |
射頻頻率 | 40kHz |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤30Pa |
腔體容積 | 5L(內徑 152mmX 深度 280mm) |
載物規格 | 125mmX260mm |
氣體流量 | 0—50ml/min（其他量程可選） |
氣體路數 | 2 路質量流量計+精密流量控制閥 |
過程控制 | 自動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
真空室溫度 | 小于65°C |
外形尺寸 | 450x450x250mm |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本，機械泵一臺 |
