ALICAT 氣體質量流量計-基本型 10系列
美國ALICAT 10系列基本型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的10系列質量流量計用于快速精確地測量過程氣體的質量流量，響應速度可達10ms。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 環境監測
● 真空鍍膜 ● 工業爐窯
● 半導體 ● 汽車制造
● 光伏 ● 燃料電池
● 計量 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 低價位產品
● 標配模擬輸出方式，數字可選
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需10ms
性能指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 單種氣體標定，請參考背面氣體兼容表
量 程 從0-10SCCM 到 0-20SLPM（）
量程 比 200 : 1
可控流量 128%FS
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程
重復 性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
預熱時間 <1s
響應時間 10ms
標定工況 25℃ & 100kPa 絕壓
工作溫度 -10 ～ +50℃
工作濕度 0-99%,無冷凝
標準工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
輸出信號 標準為模擬信號：0-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選數字信號 RS-232
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 40mA
電氣接口 DB15
材 質 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
