一、儀器的功能及用途
能夠在大氣環境下準確地測量樣品表面臺階變化；使用金剛石（鉆石）探針接觸直動式測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
二: 儀器的配置及主要技術指標
1. 標準配置
1）接觸直動式臺階儀主體
2）放大器
3）電腦以及相應中文版測量軟件
4）打印設備
5）金剛石觸針
6）CCD以及觀測裝置
2．主要性能指標
一、測定工件
v 1.工件尺寸：φ160mm
2.工件厚度：50mm
3.工件重量：2Kg
二、檢出器
1.Z方向測定范圍：Max.600μm
2.Z方向分辨率：0.1nm
3.測定力：1mg ~ 50mg
4.探針半徑：2μm
v 5.檢測驅動方式：直動式
v 6.再現性：0.2nm（1μm臺階儀下）
三、X軸
v 1.移動量（測長）：100mm
v 2.移動真值度：0.2μm/100mm
3.移動、測定速度：0.005 ~ 20mm/s
v 4.線性尺（linarscale）：分解能0.1μm
四、Z軸
1.移動量：50mm
2.移動速度：max.2mm/S
3.檢出器自動停止機能
4.位置決定分解能：0.1μm
v 5.線性度：±0.25%
五、工件臺
1.工件臺尺寸：φ160mm
2.機械手動傾斜：± 2℃(±５mm/160mm ）
六、工件觀察：max.110倍（可選其他高倍率CCD）
v 七、床臺：花崗巖石材質（120KG機臺，低重心）
八、電源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
九、機臺外觀尺寸及重量：W494×D440×H630mm,120kg
