SpecEI橢圓偏振光譜儀系統
SpecEl 橢偏儀
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率，吸光率及膜厚的測量。
集成的精確測量系統
SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成，并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達0.005%。
SpecEl可通過電話問價。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執行你的實驗。
SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度，折射率及吸光率。
配置說明
| 波長范圍: | 380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
| 光學分辨率: | 4.0 nm FWHM |
| 測量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: | 70° |
| 膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
| 光點尺寸: | 2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
| 采樣時間: | 3-15s (最小) |
| 動態記錄: | 3 seconds |
| 機械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
| 膜層數: | 至多32層 |
| 參考: | 不用 |
