1.美國(guó)INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器的組合，改進(jìn)并提高氫氣的監(jiān)測(cè)，的峰值和位置的穩(wěn)定性，與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍，9個(gè)數(shù)量級(jí)的電子學(xué)動(dòng)態(tài)量程，分壓測(cè)量從1*10-4～2*10-14Torr，廣泛的應(yīng)用于PVD機(jī)臺(tái)或工藝狀態(tài)，刻蝕，CVD注入。
更為強(qiáng)大TranspectorXPR3最小測(cè)量分壓可達(dá)到1*10-2Torr，廣泛適用于濺射，電子束蒸發(fā)等鍍膜工藝的過(guò)程控制。
在線質(zhì)譜IPC400的研制，解決客戶(hù)在高壓強(qiáng)下分析氣體成分的可能性，為客戶(hù)提供在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工藝狀態(tài)的可能。
在線質(zhì)譜儀Transpector CPM，曲線可以從大氣取相，更為寬廣的測(cè)量空間。CPM 緊湊型過(guò)程監(jiān)控器是一款功能全面、結(jié)構(gòu)緊湊且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的氣體分析儀，適用于現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控復(fù)雜的過(guò)程。
2.QMG700高性能四極質(zhì)譜儀。
高測(cè)量速度0.125 ms/amu、超高靈敏度和寬廣的動(dòng)態(tài)范圍掃描表示空氣的譜線.在空氣中檢測(cè)到136 Xe (氙) 的含量為 7,8 ppb, 比噪聲水平高數(shù)個(gè)量級(jí).達(dá)到超過(guò) 10 個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍。質(zhì)量數(shù)1-1024amu可選擇，離子源類(lèi)型可選。
3.PPM422等離子體過(guò)程檢監(jiān)控器是一種集成有能量分析器的差分泵質(zhì)譜儀，可用于測(cè)量中性粒子、正離子和負(fù)離子，以及對(duì)等離子加工過(guò)程中的離子和中性粒子進(jìn)行能量分析。
功能特點(diǎn)：檢測(cè)等離子體中的中性粒子和正負(fù)離子
中性粒子和正負(fù)離子能量分析
自由基測(cè)量
等離子過(guò)程的終點(diǎn)檢測(cè)
寬泛的動(dòng)態(tài)量程
高測(cè)量速度
vacuum H
28