MEMC2300系列智能質量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精準測量和控制氣體介質的質量流量。通過就地設定或遠程控制可使氣體介質的質量流量按照工藝過程要求自動穩定在設定值上。質量流量基本不受壓力和溫度的影響, 具有精度高、重復性好的特點。質量流量控制器按照國家標準要求制造, 具有良好的兼容性和互換性。同時, MEMC2300系列智能質量流量控制器具備數據處理、記錄、顯示等相關功能, 還可實現NB-IOT物聯遠傳功能。該控制器安裝維護方便，包括底板安裝和DIN導軌安裝兩種安裝方式。

MEMC2300系列智能質量流量控制器主要應用于擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜設備、光纖熔煉等光電半導體生產工藝，微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量氣象色譜儀等試驗室設備轡頭。且可用于石油化工、冶金、焊接、家電制造、制藥等行業過程控制。

MEMC2300系列智能質量流量控制器由質量流量計、比例電磁閥、信號處理與控制模塊三個部分構成。

質量流量計由本體、傳感器、信號處理與顯示模塊構成。

傳感器采用CMOS半導體工藝制造而成的MEMS微機電芯片。流量測量工作原理采用熱擴散原理, 芯片設加熱器, 加熱器的上下游兩側分別配置熱電堆, 熱電堆設測溫元件。加熱器和熱電堆陣列的底部設有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量變化。加熱元件導入恒定電流后, 其附近區域形成相應的溫度場。介質流動使局部溫度場重新分布, 因為溫度場的變化與流體質量流量流速呈線性關系, 所以通過精確測量溫度場可反算出流體質量流速。傳感器應用熱擴散原理, 直接測量質量流量, 基本無需壓力、溫度補償，且將熱擴散應用至微米尺度, 因此采用該傳感器制造的質量流量計具有精度高、量程寬、靈敏、計量精準的特點。

流量計本體用于構造安全、準確的測量通道。而信號處理與顯示單元用于處理傳感器信號并將信號轉換成用戶需要的監測數據顯示在LCD屏上。

比例電磁閥是電磁驅動的控制閥與流量計結合形成閉環流量控制系統，可以穩定、精確地控制氣體流量。比例電磁閥是交、直流型供電的常閉閥, 磁滯低、重復性高、反應靈敏, 確保流量控制器良好的動態特性，且具有寬泛的Cv流量系數范圍。采用彈性閥座密封件, 閥門可保證氣密性關斷截止。可提供整體式卡套接頭用于安裝閥組。

信號處理與控制模塊與比例電磁閥、質量流量計形成閉環質量流量控制系統。該模塊采用性能優良、可靠性高嵌入系統設計。集成了*的自適應控制算法, 可以有效抑制測量數據隨機誤差，因此系統具有響應迅速、精度高、穩定性好的特點。