EM-09100IS 離子切片儀 用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER樣品制備的創新方法 離子切片儀制備薄膜樣品比傳統制備工具快速、簡單。低能量、低角度（0°到6°）的氬離子束通過遮光帶照射樣品，大大降低了離子束對樣品的輻照損壞。
用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER樣品制備的創新方法
離子切片儀制備薄膜樣品除了需要將樣品切成矩形薄片外，不需要溶劑或化學試劑及前處理（打磨或凹坑研磨），比傳統制備工具快速、簡單。低能量、低角度（0°到6°）的氬離子束通過遮光帶照射樣品，大大降低了離子束對樣品的輻照損壞。即使是柔軟的材料,制備的薄膜質量也好，對不同成份的樣品甚至含有多孔合成物也都能夠有效制備。
主要特點:
高質量的透射電鏡樣品的前處理
快速制備
無需復雜的前處理
最小限度的表面損傷
產品規格
| EM-09100IS | ||
| 離子加速電壓 | 1 ～ 8kV | |
| 傾斜角 | Up to 6°(0.1°/步) | |
| 離子束直徑 | 500μm(FWHM) | |
| Milling rate | 5m/min (加速電壓:8 kV, Si換算) | |
| 使用氣體 | 氬氣 | |
| 樣品尺寸 | 2.8mm(長度)×0.5 mm(寬度)×0.1mm(厚度) | |
| 壓力測試 | 潘寧規 | |
| 主抽真空系統 | 渦輪分子泵 | |
| CCD相機 | 內置 | |
| 尺寸 重量 | 主機 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
| 機械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
| 液晶顯示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
安裝條件
| EM-09100IS | |
| 電源 | 單相, AC100 ～ 120V, 50/60Hz, 500 ～ 600VA |
| 接地線 | 獨立地線(100Ω以下) |
| 氬氣 | 使用壓力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm2) 氬氣流量：約0.2立方厘米 純度: 99.9999%以上 (氬氣、氣瓶及調壓器由客戶自備) 金屬配管連接口:JISB0203 RC1/8 |
| 室溫 | 20 ～ 25℃(fluctuation: 1°C/hor less變動少于1°C/h) |
| 濕度 | 60% 以下 |
