研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進口
熱成像顯微鏡TM3；用于測量薄膜和微區域的熱流率
研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進口
研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進口
熱成像顯微鏡TM3
產品介紹
熱成像顯微鏡TM3
用于測量薄膜和微區域的熱流率
特征
熱物理顯微鏡是一種測量熱滲流率的設備，熱滲流率是熱物性值之一。
它是一種可以在點、線和平面上測量樣品熱物理性質的裝置。
可以測量微米量級的熱物理性質分布，這在傳統的熱物理性質測量設備中被認為是困難的。
這是一臺能夠對熱物理特性進行非接觸式高分辨率測量的設備。
檢測光斑直徑為3μm，可以高分辨率測量微小區域的熱物理性質（點、線、面測量）。
由于可以通過改變深度范圍進行測量，因此可以測量薄膜、多層膜和塊狀材料。
也可以測量基板上的樣品。
這是一種使用激光束的非接觸式測量。
可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和分層。
熱物理顯微鏡測量原理（概要）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光定期加熱。
金屬的反射率具有根據表面溫度而變化的特性（熱反射法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度變化來測量表面的相對溫度變化。去做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導致表面溫度響應出現相位滯后。該相位延遲隨樣品的熱特性而變化。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲獲得熱流率。
在試料上形成Mo薄限，用加熱用激光對表面進行加熱，從Mo薄海傳送到試料上，試料表面的溫度響應會產生相位延遲，該相位延遲會根據試料的熱特性而變化。由于Mo的反射率具有隨溫度而變化的性質，因此通過捕捉照射到與施加激光相同接觸的檢測用激光的強度變化，測定表面的相好溫度變化。通過這種測量方法，可以進行高分辨率的熱浸率測量。（ServmoryFrectance法）可選位移可計算體積熱容及傳導率。
