TOKYOKEISO東京計裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計
TOKYOKEISO東京計裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計
液體微小流量超聲波流量計UCUF-02M,SFC-010L,高溫液體用小口徑超聲波流量計UCUF-04MT,SFC-010T
產品介紹
UCUF-02M/SFC-010L是液體用超聲波流量計。高精度測量純水、超純水、各種化學品等的微小流量。測量管的直徑為 2.5 mm,涵蓋了傳統 UCUF 型超聲波流量計難以測量的廣泛微小流量范圍。所有接液部件均采用半導體行業用PFA制成,具有理想的清潔結構,沒有移動部件,也沒有容易積液的密封部件,非常適合半導體制造設備等要求高清潔度的工藝.流量計的入口和出口是標準尺寸的管子,可以連接到各種 PFA 接頭。
特征
小口徑
超聲波流量計成功地測量了內徑為φ2.5mm的管道中超聲波的傳播,而這種管道很難測量超聲波的傳播。
分鐘流量
最小滿量程設置范圍:0 至 10 mL/min
電磁兼容標準:EN61326-1
符合 RoHS 標準
測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體
具有理想清潔結構的探測器
耐腐蝕且易于安裝
準確度:示值的±1%以內(流速25mL/min以上時)
主要用途
半導體制造過程中純水和超純水的流量測量
各種藥液注入工藝的流量測量
強腐蝕性液體的流量測量
CMP 漿料流量測量
其他中小口徑過程液體流量測量
適用于清洗設備和 CMP 設備的流量測量和控制
UCUF-04MT型高溫超聲波流量計是UCUF系列超聲波流量計的改進版本,在測量超純水和各種化學液體的小流量方面具有良好的記錄。所有接液部件均采用特級 PFA 模壓產品制成,沒有活動部件,也沒有 O 形圈等容易積液的機械密封。由于其理想的清潔結構,該流量計非常適用于要求清潔度的過程,例如半導體制造設備。該轉換器是薄型 DIN 導軌安裝型。通過采用數字信號處理器(DSP)等電子技術,顯著降低了流體中氣泡的影響,這是半導體工藝、化學液體工藝等中的一個問題。此外,通過提高時間分辨率和加快信號處理速度,與傳統產品相比,低流量范圍內的測量穩定性得到了提高。
特征
節省能源和空間
SFC-010T 轉換器是傳統轉換器的纖薄版本。
高速計算
SFC-010T 具有 10 ms 的高速采樣處理。
大大提高了抗氣泡性
如果流體中含有氣泡,超聲波的傳播將受到阻礙,流量測量將無法進行。憑借豐富的現場經驗和DSP信號處理技術,我們成功地檢查了接收到的波形,檢測出氣泡的影響,將其排除在流量計算之外,消除了因氣泡影響導致的異常輸出。
符合標準
CE(符合 EMC 指令 IEC61326-1:2006)
符合 RoHS
探測器
兼容 180°C 的流體溫度。
可以測量高達 40.0 [mm2/s] 的高粘度流體。
具有理想清潔結構的檢測器。
耐腐蝕且易于安裝。
轉換器功能
零位檢查功能:通過在測量前執行零位檢查,可以在被測流體的條件下開始測量。
參數設置:各種參數可通過專用配置軟件進行設置。(另需RS-485通訊轉換器。)
流量顯示:配備7段紅色LED(4位)顯示器,顯示流量和狀態。
主要用途
半導體制造過程中的高溫化學液體流量測量
各種化學供液過程的流量測量(需要測量的化學液體請提前聯系我們)
分鐘流量測量