同惠TH1991高精度源表簡介:
TH1991/TH1992系列精密源/測量電源,可同時輸出并測量電壓 和電流,在儀器中集成了電流源、電壓源、電壓表、電流表功能, 各功能可任意切換。 TH1991/TH1992系列精密源/測量單元可輸出高達±210V直流電 壓、±3A直流電流以及±10.5A脈沖電流、*小10fA/100nV的電源 和測量分辨率,支持高速采樣,可生成任意波形。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元系列采用了7英寸電容式觸 摸屏,以Linux操作系統為底層,交互式圖形用戶界面及各種顯示 模式,并內置了二極管、三極管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲 線掃描功能,無需連接上位機即可完成IV功能測試,可顯著提高測 試效率。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元全 面、綜合的電源和測量功 能,是測試半導體、有源/無源器件以及各種其他器件與材料的理 想選擇。 TH1991/TH1992系列精密源/測量單元廣泛應用在研發和教育應 用、工業開發、測試和制造業等領域。
同惠TH1991高精度源表特點:
■ 通道數:1
■ 高達±210V直流電壓、±3A直流電流/±10.5A脈沖
■ 10fA/100nV*小輸出及測量分辨率(6 1/2位)
■ 7英寸電容式觸摸屏,分辨率800×480
■ Linux操作系統
■ 四象限精密電源輸出
■ 電壓源、電流源、電壓表、電流表或電阻表五種基本模式
■ 支持直流、脈沖、掃描及列表輸出
■ 二極管、三極管、MOS管以及IGBT快速生成常用器件的特性曲線,時域波形滾動顯示功能
■ 兼具二線制測量/四線制測量
■ 輸出濾波器時間常數(或截止頻率)可自由設置以實現任意頻響輸出
■ 數學 運算功能、滑動平均濾波功能、偏差扣除功能
■ Delta低電阻測試方法,有效補償由熱電動勢引起的測量誤差
■ 14檔分選功能,含Grading和Sorting兩種模式。
■ TH199X系列高達1000000點/秒采樣率,*小采樣間隔1μs
■ TH199X系列脈沖輸出的脈寬*小可達50μs
■ TH199X系列任意波形生成及列表掃描功能(*小1μs間隔)
TH199X系列高精度源表規格選型表:
型號 | 通道數 | 有效設置和測量值 | |||
*小分辨率 | *大電流 | *大電壓 | |||
源 | 測量 | ||||
TH1991C | 1 | 1pA,1uV | 100fA,100nV | DC:±1.515A 脈沖:無 | ±63V |
TH1991B | 100fA,1uV | 10fA,100nV | DC:±3.03A脈沖:無 |
±210V | |
TH1991A | 1pA,1uV | 100fA,100nV | DC:±3.03脈沖:±10.5V | ||
TH1991 | 10fA,100nV | 10fA,100nV | |||
TH1992B |
| 100fA,1uV | 10fA,100nV | ||
TH1992A | 2 | 1pA,1uV | 100fA,100nV | ||
TH1992 | 10fA,100nA | 10fA,100nV |
量程 | 編程解析度 | 精度(增益誤差(讀數的%)+偏移誤差) | 噪聲(峰峰值)0.1Hz至 10Hza | *大電壓 (超過量程) | |||
TH1991C | TH1991B TH1992B | TH1991A TH1992A | TH1991 TH1992 | ||||
±200mV | 1uV | 1uV | 0.1uV | ±(0.015%+225uV) | ≤10uV | ±210mV | |
±2V | 10uV | 10uV | 1uV | ±(0.02%+350uV) | ≤20uV | ±2.1V | |
±20V | 100uV | 100uV | 10uV | ±(0.015%+5mV) | ≤200uV | ±21V | |
±200Vb | — | 1mV | 1mV | 100uV | ±(0.015%+50mV) | ≤2mV | ±210V |
※注意:上標 a:補充特征
- 電壓限值/合規性:精度與電壓源相同。*小值是量程的 1%或 200mV 量程中的 20mV。
- 超過量程:源量程的 105%。
- 電壓輸出穩定時間(在開路負載條件下,達到*終值的 0.1%范圍所需的時間):步長為 10%至 90%量程。l 200mV 和 2V 量程:<50us,20V 量程:<110us,l 200V 量程:<700us
- 噪聲 10Hz 至 20MHz(V 源):50mVrms,20V 量程
- V 源過沖:<±(0.1%+10mV)步長大小是 10%至 90%量程, 電阻負載。
- 電壓源量程更改過沖:≤250mV,100kΩ負載,20MHz 帶寬。
上標 b:±200V 不適用于 TH1991C。
量程 | 編程解析度 |
精度(增益誤差(讀數的%)+偏移誤差) | 噪聲(峰峰 值)0.1Hz至 10Hza | *大電流 (超過量程) | |||
TH1991C | TH1991B TH1992B | TH1991A TH1992A | TH1991 TH1992 | ||||
±10nAb | — | 100fA | — | 10fA | ±(0.10%+50pA) | ≤2pA | ±10.5nA |
±100nAc | — | 1pA | 1pA | 100fA | ±(0.06%+100pA) | ≤5pA | ±105nA |
±1uA | 10pA | 10pA | 1pA | ±(0.025%+500pA) | ≤25pA | ±1.05uA | |
±10uA | 100pA | 100pA | 10pA | ±(0.025%+1.5nA) | ≤60pA | ±10.5uA | |
±100uA | 1nA | 1nA | 100pA | ±(0.02%+25nA) | ≤3nA | ±105uA | |
±1mA | 10nA | 10nA | 1nA | ±(0.02%+200nA) | ≤6nA | ±1.05mA | |
±10mA | 100nA | 10nA | 10nA | ±(0.02%+2.5uV) | ≤200nA | ±10.5mA | |
±100mA | 1uA | 1uA | 100nA | ±(0.02%+20uV) | ≤600nA | ±105mA | |
±1A | 10uA | 10uA | 1uA | ±(0.03%+1.5mA) | ≤70uA | ±1.05A | |
±1.5A | 10uA | 10uA | 1uA | ±(0.05%+3.5mA) | ≤150uA | ±1.515A | |
±3Ad | — | — | 100uA | 10uA | ±(0.4%+7mA) | — | ±3.03A |
±10Ad、e | — | — | 100uA | 10uA | ±(0.4%+25mA)f | — | ±10.5A |
電流限值/合規性:精度與電流源相同,*小值是量程的1%,或 10nA 量程中的 1nA。
超過量程:1.5A 和 3A 量程的是源量程的 101%,其余為源量程的 105%。
電流數出穩定時間:(在短路條件下,達到*終值的 0.1%范圍所需的時間):步長為 10%至 90%量程。
10nA 和 100nA 量程:<10ms,1uA 量程:<500us
10uA 和 100uA 量程:<250us,1mA 至 3A 量程:<80us
源過沖:<±0.1%,步長大小 10%至 90%量程,電阻 負載。
電流源量程更改過沖:≤250mV/R 負載,20MHz 帶寬。
上標 b:±10nA 不適用于 TH1991A/C 和 TH1992A。
上標 c:±100nA 不適用于 TH1991C。
上標 d:±3A、±10A 不適用于 TH1991B/C 和 TH1992B。
上標 e:±10A 量程僅適用于脈沖模式,不適用于 DC 模式。
上標 f:測量速度:0.01PLC。
| *大電壓 | *大峰值電流 | *大基極電流 | *大脈沖寬度 | *大占空比 |
DC 或脈沖 | 6V | 3.03Aa | 303Aa | DC,無限值 | 99% |
21V | 1.515Aa | 1.515Aa | DC,無限值 | 99% | |
210V | 0.105A | 0.105A | DC,無限值 | 99% | |
脈沖 | 6V | 10.5A | 0.5A | 1ms | 2.5% |
180V | 10.5A | 50mA | 10ms | 2.5% | |
200V | 1.515A | 50mA | 2.5ms | 2.5% |
上標 a:對于兩個通道,兩個通道*大總電流受限制。
脈沖寬度定義:從 10%前沿到 90%后沿的時間,如下圖所 示。
對于脈沖源始終使用固定量程進行測量。

圖 3-2脈沖寬度(10%前沿到 90%后沿)
源值 | Limit 值 | 負載 | 源穩定(量程的%) | *小脈沖寬度 |
200V | 1.5A | 200Ω | 0.1% | 1ms |
6V | 10.5A | 0.6Ω | 0.1% | 0.2ms |
1.5V | 200V | 65Ω | 0.1% | 2.5ms |
10.5V | 6A | 0.5Ω | 0.1% | 0.2ms |
※注意:對于上述電壓和電流條件連接了適當的電阻負載。
|
V 中*大電壓 |
A 中*大電流 | 使用通道 1(I1,V1)和使用通道 2(I2,V2)時總電流 限值 | ||
V 中的 V1 | V 中的 V2 | A 中的電流限值 | |||
DC 或 脈沖 | 6V | 3.03A |
±(0≤V1≤6) | ±(0≤V2≤6) | I1+I2≤4 |
21 V | 1.515A | ±(6≤V2≤21) | I1+I2*1.6≤4 | ||
210 V | 0.105A |
±(6≤V1≤21) | ±(0≤V2≤6) | I1+I2*0.625≤2.5 | |
脈沖 | 6V | 10.5A | ±(6≤V2≤21) | I1+I2≤2.5 | |
200 V | 1.515A |
|
| |
量程值 |
電壓輸出值 | 設置分辨率 | *大電流 |
脈沖寬度 | ||||
TH1991C | TH1991BTH1992B | TH1991ATH1992A | TH1991 TH1992 | DC 輸出 | 脈沖輸出 | |||
0.2V | 0≤|V|≤0.21V | 1uV | 0.1uV | ±3.03A | ±10.5A |
50us ≤t≤ 100ks | ||
2V | 0≤|V|≤2.1V | 10uV | 1uV | |||||
20V | 0≤|V|≤6V | 100uV | 10uV | |||||
0≤|V|≤21V | ±1.515A | ±1.515A | ||||||
200V | 0≤|V|≤6V | 1mV |
1mV |
100uV | ±3.03A | ±3.03A | ||
±10.5A | 50us ≤t≤ 1ms | |||||||
0≤|V|≤21V | ±1.515A | ±1.515A | 50us ≤t≤ 100ks | |||||
0≤|V|≤180V | 1mV (0-60V) |
1mV | — | ±1.05A | 50us ≤t≤ 10ms | |||
0≤|V|≤200V | — | — | ±1.515A | 50us ≤t≤ 2.5ms | ||||
0≤|V|≤210V | — | ±0.105A | — | — |
表 3-6電壓輸出量程
量程值 | 電流輸出值 | 設置分辨率 | *大電壓 |
脈沖寬度 | ||||
TH1991C | TH1991BTH1992B | TH1991ATH1992A | TH1991 TH1992 | DC 輸出 | 脈沖輸 出 | |||
10nAa | 0≤|I|≤ 10.5nA | 1pA | 100fA | — | 10fA | ±210V | ±210V | 50us ≤t≤ 100ks |
100nA | 0≤|I|≤ 105nA | 10pA | 1pA | 1pA |
100fA | |||
1uA | 0≤|I|≤ 1.05uA | 100pA | 10pA | 10pA | 1pA | |||
10uA | 0≤|I|≤ 10.5uA | 1nA | 100pA | 100pA | 10pA |
100uA | 0≤|I|≤105uA |
10nA |
1nA |
1nA |
100pA |
|
|
|
1mA | 0≤|I|≤1.05mA |
100nA |
10nA |
10nA |
1nA | |||
10mA | 0≤|I|≤10.5mA |
1uA |
100nA |
100nA |
10nA | |||
100mA | 0≤|I|≤105mA |
10uA |
1uA |
1uA |
100nA | |||
1A | 0≤|I|≤105mA | 100uA | 10uA | 10uA | 1uA | ±210V | — | — |
105mA≤ |I| ≤1.05A | ±21V | — | — | |||||
1.5A | 0≤|I|≤105mA | 100uA | 10uA | ±210V | — | — | ||
105mA≤|I|≤1.515A | ±21V | — | — | |||||
0≤|I|≤1.515A | — | ±21V | 50us ≤t≤ 100ks | |||||
0≤|I|≤1.05Aa |
— |
±180V | 50us ≤t≤ 10ms | |||||
0≤|I|≤1.515Aa |
— |
±200V | 50us ≤t≤ 2.5ms | |||||
3A | 0≤|I|≤105mA | 1mA | 100uA | 100uA | 10uA | ±210V | — | — |
105mA≤|I|≤1.515A | ±21V | | — | |||||
1.515A≤|I|≤3.03A | — | ±6 | — | — | ||||
10Ab | 0≤|I|≤10.5A | — | — | — | ±6V | 50us ≤t≤ 1ms |
表 3-7電流輸出量程
※注意:
上標 a:脈沖基地(即時)電流電平的限制為±50mA
上標 b:脈沖基地(即時)電流電平的限制為±500mA