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  • PLS-F1002 :晶圓幾何形貌及參數自動檢測機

PLS-F1002 :晶圓幾何形貌及參數自動檢測機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2023-03-28
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量100
  • 人氣值955
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??岱美有限公司成立于1989年,是數據存儲,半導體,光學,光伏和航空航天行業制造商和創新研發機構的*設備分銷商。??在21世紀初期,岱美已從我們在中國香港的總部擴展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當今化的市場中,我們的客戶包括連接東南亞各國的綜合供應鏈,我們的專業人員隨時準備與他們會面。??我們的總部設在中國香港,在中國大陸地區(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強大的業務。我們還在馬來西亞,新加坡,中國臺灣地區,菲律賓和泰國等東南亞國 家和地區設有分支機構。岱美擁有訓練有素的工程師,能夠為各地區用戶提供快捷、可靠的技術支持和維修服務;為確保他們的專業知識得以更新及并適應新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術訓練,務求為顧客提供更高質素的售后服務及技術支持。我們的分支機構都已建立數十年,我們的許多客戶對我們與他們建立的長達數十年的合作關系感到滿意。??我們的目標是建立持久的關系,滿足東南亞企業快速增長的需求。對于我們的客戶,我們不僅提供設備,還提供建議和技術指導,以及時了解我們不斷發展的行業的發展。對于我們的供應商,我們提供了深入的銷售網絡和數十年的東南亞復雜商業環境導航經驗。我們將本地客戶與來自歐洲,美國,日本和韓國的*設備與技術連接起來。岱美合作客戶??岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:??晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。注:在大陸地區注冊的公司名稱為:岱美儀器技術服務(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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一、設備簡介1、應用范圍自動晶圓幾何形貌及參數檢測系統使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC以及Si等
PLS-F1002 :晶圓幾何形貌及參數自動檢測機 產品詳情

一、設備簡介

1、應用范圍

自動晶圓幾何形貌及參數檢測系統使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現的尺寸與結構測量內容包括: 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。

2、檢測原理

設備系統使用紅外干涉光源,本身具有通過對物體上表面與下表面反射光直接的相位差進行傅里葉變化求得位移差的能力。在此基礎上,我司設計了參考鏡等效光路,通過計算參考鏡上表面與物體上表面反射光之間的距離來計算物體表面的高度信息,實現表面高度數據相關的粗糙度、翹曲度參數的獲取。


紅外干涉原理圖

紅外干涉原理圖

紅外干涉測量方式與位置圖


二、設備規格

1、整體基本結構

測控系統的硬件由高精度 X-Y 運動平臺、晶圓機械手、數據獲取與檢測模組、檢測控制系統以及自動上下料系統組成。

2、設備外觀圖

3、基本技術規格說明:

設備基本技術規格

部 件

規 格

高分辨率紅外干涉光檢測系統

l 紅外干涉點傳感器

l 橫向分辨率 3.7um

l 分辨率 1nm

l 蕞大采樣頻率 70kHz

X-Y 自動運動平臺

l 定制水平載物臺,蕞大 350mm*350mm

l 平臺平整度 < 1.5μm/100mm

l 平臺蕞大移動速度 > 100mm/s

l 支持 4-8 寸的載具平臺,可替換的 12 寸載具平臺

自動上下料與分選系統

l 高速晶圓機器人上下料系統

l 2 2 cassettes 結構




計算機系統

l 定制檢測軟件系統,包含數據庫管理系統,支持

PDF 報告和 Excel 報告導出

l 帶通訊端口對接MES 系統或其他數據系統

其他

l 使用手冊

l 含安裝調試和使用培訓服務

4、設備性能指標

以下為設備的主要性能參數與指標:

設備產能指標


十字

米字

4 寸

280WPH

240WPH

6 寸

240WPH

200WPH

8 寸

180WPH

120WPH

12 寸

120WPH

80WPH

5、檢測關鍵指標參數如下:

設備關鍵參數指標

項目

關鍵指標參數

晶圓厚度測試范圍

50um~1000um (Si) (具備鍵結片各層厚度能力)

厚度 TTV 檢測精度

±0.2um

厚度 TTV 檢測重復性

σ ≤ 0.1um

Bow/Warp 檢測精度

±0.5um

Bow/Warp 檢測重復性

σ ≤ 0.5um

準確性

l 對標 FRT)Bow/Warp 線性 ≥ 90%

l 對標 FRT):Thickness/TTV/TIR 線性 ≥ 95%


三、軟件系統功能

測控系統安裝在Windows 系統的工業計算機上,并配置我司磚用控制軟件。測控系統軟件主要由系統控制模塊(包含定位、校準及自動上下料及分選)、晶圓關鍵尺寸測量模塊和數據處理與輸出模塊三部分組成。分為模式與操作工簡易操作模式兩種。易于現場操作和數據結果獲取。可以根據需求設定報警與分選特定方式。

系統功能設計

功能模塊

功能設計

系統控制模塊

l 平臺定位控制系統;

l 自動上下料操作控制





l 平臺控制與檢測路徑規劃控制系統

晶圓關鍵尺寸檢測模塊

l 控制紅外干涉傳感器數據校準系統

l 控制傳感器切換 recipe 及其設定系統

l 晶圓數據獲取與預處理系統

數據處理模塊與輸出

l 根據不同檢測目標設定的數據處理算法與可視化窗口

l 定制檢測軟件系統,包含數據庫管理系統,支持 PDF 報告Excel 報告導出(可選配打印系統)

l 帶通訊端口對接 MES 系統


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