該水分分析儀是特別為用于半導(dǎo)體設(shè)備制造過(guò)程使用的超高純度氣體而設(shè)計(jì)的。該分析儀對(duì)于監(jiān)測(cè)水分含量在1到100ppbv量程內(nèi)的氣體質(zhì)量是非常理想的。5920型水分分析儀整合了一些新性能,使之更簡(jiǎn)單易用,甚至氣體轉(zhuǎn)換時(shí)也一樣方便。這使得5920型水分分析儀無(wú)論是固定安裝使用還是移動(dòng)便攜使用都是的選擇,例如車載分析。石英晶體微平衡水分分析儀具備本地顯示器和鍵盤。
5920型水分分析儀 |
概述 每一款5910型水分分析儀都能通過(guò)內(nèi)在的零點(diǎn)氣體系統(tǒng)快速而**的校驗(yàn)其零點(diǎn)基線。這種零點(diǎn)校驗(yàn)確保了分析儀有穩(wěn)定的零點(diǎn)基線。這是至關(guān)重要的,因?yàn)樗蠻HP氣體的目的是獲得盡可能低的水分含量。其他技術(shù)不具備這個(gè)能力,不能確定分析儀顯示的零點(diǎn)是它實(shí)際的零點(diǎn)或者其他更高或者更低的數(shù)值。 |