多維磁場探針臺測試系統無磁材質半導體測試 北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺,采用無磁材料制成,采用亥姆霍茲線圈正交放置,產生空間多維磁場。線圈可采用自然冷卻(磁場較小)或水冷結構(磁場較大),標配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流,可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺,可以實現水平方向二維移動和360度轉動,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。 多維磁場探針臺測試系統無磁材質半導體測試
可選附件:
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統
t 1Mpa正壓系統升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉接頭
t 真空泵