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在專業、敬業、拼搏的理念指導下，不斷進取學習，時刻關注域科學的發展和創新，北京眾星聯恒科技有限公司致力于引進的X射線產品、及新孵化*產品給中國的同步輻射，研究所，高校及制造業的客戶。

我司是德國INCOATEC公司、美國XOS（光學組件）、德國X-SPECTRUM、德國GREATEYES、德國Microworks、捷克ADVACAM、及英國MSI輝光放電質譜儀的中國區總代理，產品線包含X射線源、X射線光學元件、X射線探測器、X射線系統、OPCPA飛秒激光器和輝光光放電質譜儀等。我司同時致力于給客戶提供x射線解決方案，并于2016年推出了具有自主知識產權的桌面超快X射線診斷裝置，具有超微、超亮、高信噪比和高穩定性的特點，在物質超快過程研究、精細分辨成像等方面具有重要的應用價值。

我們堅持以客戶需求為導向，以專業、專注為根本，以高效服務為核心，緊密跟進學科的發展，努力從客戶處學習并豐富完善自己的技術儲備，解決客戶的實際需求，以前沿技術驅動的創新獲取公司發展的空間，逐步成長為優秀的X射線領域及的材料分析系統方案提供商。

我們敬畏知識不斷進步所帶來的變化和革新，堅信：高品質的產品及優質的服務是獲得客戶認可的標準！

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激光驅動高亮EUV光源

激光驅動高亮EUV光源產品詳情

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緊湊型高亮極紫外光源介紹及應用

TEUS-LPP EUV光源基于快速旋轉液態金屬靶，這種新型LPP靶結合了傳統的碎片減緩技術，是清潔極紫外光源的解決方案。

特征優勢

將液滴碎片重定向遠離輸入（激光）和輸出（EUV）窗口
用于高重復率激光系統（高達1Mhz）的不受干擾的靶材表面
由于靶材是連續的，所需的同步最小
高亮度，高通量，優秀的空間穩定性
的正常運行時間
高占空比，交鑰匙作業

高速轉速：液滴的重定向

高轉速允許初始速度與目標線速度相當的液滴的角速度分布發生劇烈變化（受版保護的關鍵要素、一般原理和技術）

北京眾星聯恒科技有限公司

高旋轉速度導致的液滴減緩效果的演示

	EUV收集角（sr）	激光平均功率（W）	脈寬（ns）	重頻（kHz）	等離子體尺寸（μm）	亮度（W/mm²sr）	EUV功率（mW）	收集器壽命
TEUS-S100	0.05	100	1.5	25	60	110	5	>1年
TEUS-S200		200		50		220	10	>半年
TEUS-S400		400		100		450	20	>半年

典型應用

掩膜及表面檢測
圖形化掩膜檢測
掩膜空間像檢測
材料科學
晶圓檢測
極紫外掃描光刻工藝鏈中的極紫外光學器件檢測

關鍵詞：收集器

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