超高分辨肖特基場發射掃描電子顯微鏡SU8700
隨著快速數據采集和數據處理技術的發展，電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量，而且注重其采集過程的時代。SU8700作為一款面向新時代的SEM，在日立電鏡貫有的高圖像質量和高穩定性的基礎上，增加了包括自動獲取數據等高通量的功能。
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- 設備照片包含選配。
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特點
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規格
特點
超高分辨觀察和分析能力
日立的高亮度肖特基場發射電子槍可同時支持超高分辨觀察和快速微束分析。在不使用樣品臺減速的情況下，僅用0.1 kV的低加速電壓仍可進行高分辨觀察，適應更多應用場景。同時，可搭配多種新型探測器和其他豐富的選配項，滿足更多的觀測需求。
*的自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。
強大的顯示及交互特性
原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。
6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集，帶來更多信息。
單次掃描支持 40,960×30,720 的超高像素*
大視野和高像素成像
左圖是視野約為120 μm，單次掃描采集的大鼠超薄切片樣品高像素圖像。將黃色矩形區域圖像進行簡單的數字放大，得到右圖。右圖相當于左圖數字放大20倍,依然可以清晰確認到神經細胞的細胞器等的內部構造
SU8600和SU8700單次掃描像素可達 40,960 x 30,720.*
*選配
規格
| 電子光學系統 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm@15 kV |
|---|---|---|
| 0.9 nm@1 kV | ||
| 放大倍率 | 20 ~ 2,000,000 x | |
| 電子槍 | 肖特基場發射電子源 | |
| 加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV | |
| 著陸電壓*1,*3 | 0.01 ~ 7 kV | |
| 束流 | 200 nA | |
| 探測器 | 標配探測器 | 上探測器（UD） |
| 下探測器（LD） | ||
| 選配探測器*3 | 鏡筒內背散射電子探測器（MD） | |
| 半導體式背散射電子探測器（PD-BSE） | ||
| 高靈敏低真空探測器（UVD） | ||
| 掃描透射探測器（STEM） | ||
| 選配附件*2 | X射線能譜儀（EDS） | |
| 電子背散射衍射探測器(EBSD) | ||
| 樣品臺 | 馬達驅動軸 | 5軸馬達驅動 |
| 移動范圍 | ||
| X | 0 ~ 110 mm | |
| Y | 0 ~ 110 mm | |
| Z | 1.5 ~ 40 mm | |
| T | -5 ~ 70° | |
| R | 360° | |
| 樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑：150 mm*4 |
| 低真空模式 | 真空范圍 | 5 ~ 300 Pa |
- *1
- 減速模式下
- *2
- 可配置的探測器
- *3
- 選配項
- *4
- 如果有更大的樣品尺寸需求，請聯系我們。
關聯產品分類
- 聚焦離子束系統 (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM樣品前處理裝置
