系統(tǒng)特點及關(guān)鍵指標
本系統(tǒng)方案的主要特點及關(guān)鍵指標如下。
l 自動化檢測系統(tǒng)，整體系統(tǒng)基于可編程操作的基礎(chǔ)構(gòu)架，對同一規(guī)格產(chǎn)品，完成編程錄入后，用戶只需輸入規(guī)格型號，即自動完成產(chǎn)品檢測。
l 高精度、高分辨率光學(xué)成像系統(tǒng)，采用線陣掃描、面陣觀察相結(jié)合，線掃描采用TDI相機分辨率達到16K，面陣相機采用5000萬像素彩色相機，成像分辨率*高可達1μm；
l 高精度、高平穩(wěn)性運動機構(gòu)平臺，具備高剛性、高運動控制精度，在1-2μm光學(xué)分辨率狀態(tài)下可達到140mm/s的掃描運動速度；
l 智能檢測算法，結(jié)合圖像處理及深度學(xué)習(xí)技術(shù)，對產(chǎn)品線路缺陷進行智能化、高準確率檢測，實現(xiàn)缺陷檢測準確率>99%，并具有缺陷學(xué)習(xí)、分類的功能。
系統(tǒng)各部分設(shè)計
龍門式雙驅(qū)直線平臺
為實現(xiàn)檢測系統(tǒng)與產(chǎn)品之間的高精度掃描運動，采用龍門式雙驅(qū)直線電機平臺，產(chǎn)品靜止不動，由檢測系統(tǒng)相對產(chǎn)品進行運動實現(xiàn)圖像掃描、成像觀測。主要特點：1）采用花崗石作為運動平臺的底座及骨架，保障系統(tǒng)的剛性、隔振及穩(wěn)定性；2）Y方向采用水平安裝的直線電機，X1、X2為兩套平行安裝的直線電機直線模組，兩組模組同步驅(qū)動實現(xiàn)高精度的直線位移；3）X、Y方向各安裝一套光柵尺系統(tǒng)，用于產(chǎn)品圖像采集的同步、實時運動坐標的讀取；4）Z方向采用“絲桿+導(dǎo)軌+伺服電機+光柵尺”的結(jié)構(gòu)，與激光測距傳感器一起形成閉環(huán)控制，實現(xiàn)自動聚焦調(diào)節(jié)。本系統(tǒng)直線運動平臺基于Hiwin直線電機、導(dǎo)軌系統(tǒng)進行定制設(shè)計。圖3為敝司之前檢測設(shè)備項目所用龍門式雙驅(qū)直線電機平臺，達到了300mm/s運動速度、2μm重復(fù)定位精度。
控制平臺
采用以色列ACS獨立式控制器，如圖4。由EtherCAT主站MPU(運動處理器）和在每個EtherCAT從站上的伺服處理器（SPil)構(gòu)成。MPU可以管理至多達64個同步軸的系統(tǒng)，執(zhí)行高水平任務(wù)，比如通訊ACSPL+和PLC編程，診斷I/O控制和軌跡的規(guī)劃。在每個節(jié)點上的SPii浮點處理器執(zhí)行時控制算法*多到4個軸，每個軸的采樣和刷新率都是20KHZ。開放式的EtherCAT風(fēng)格，能支持第三方的驅(qū)動和IO，提供全面的軟件工具以便分析、整定和診斷，強大的ACSPL+多線程運動語言，EtherCAT網(wǎng)絡(luò)的掃描周期為2KHZ（或者5KHZ），其中所有ACS驅(qū)動器的伺服周期為20KHZ。
圖4 ACS運動控制器
ACS 運動控制器的特性：
1） 模塊化，通過EtherCAT通訊可擴展的解決方案；
2） 多軸同步*多64軸；
3） 驅(qū)動器電壓12V到560V；
4） 電流從1.25 /2.5 到45/90A；
5） 應(yīng)用NanoPWM驅(qū)動器；
6） 20kHZ伺服周期對應(yīng)位置，速度和電流環(huán)；
7） *大5kHZ的軌跡；
8） 軸數(shù)量不影響控制伺服周期。
ACS 運動控制器的性能指標：
1) 多軸點對點，jog跟隨運動和連續(xù)點位運動；
2) 以圓弧和直線轉(zhuǎn)角處理的帶速度前瞻的多軸路徑規(guī)劃用于*佳的精度和產(chǎn)量；
3) PVT三次樣條插補的任意軌跡；
4) 三階運動規(guī)劃(S型曲線)；
5) 飛行運動中改變目標位置和運動參數(shù)；
6) 正逆解運動解耦和坐標變換；
7) 位置和速度鎖定的主從運動；
8) (電子齒輪/CAM)和虛擬主軸；
9）用戶界定單位值；
10）64位浮點數(shù)運算；
11）動態(tài)誤差補償(2D&3D)；
12）復(fù)雜的數(shù)學(xué)表達式和豐富的邏輯，統(tǒng)計，計算，三角函數(shù)和信號處理函數(shù)；
13）用戶定義自動執(zhí)行程序（軟件編程中斷），邏輯條件滿足時即刻觸發(fā)；
14）自定義各種安全相關(guān)或者系統(tǒng)錯誤的響應(yīng)；
15）采集速率達到20kHz的實時數(shù)據(jù)采集。
