1.粗糙度測量功能∶
從0.1nm級別的超光滑表面到數十微米級別的粗糙表面，儀器均能實現高精度測量，支持ISO/ASMEEUR/GBT等國內外標準的數百種2D、3D參數。
2.輪廓尺寸測量功能∶
?支持納米級高度測量和0.4um級別的線寬測量，支持80倍的槽深寬比測量，具備點、線、面相關的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能；
3.自動多區域測量功能∶
?實現方形、（橢）圓形外觀樣品的大范圍內等分距離的多個小區域的自動測量；
4.自動拼接功能∶
??當待測區域大于鏡頭單視場尺寸時，采用自動拼接功能設置好起點和終點即可一鍵完成大區域范圍的測量，同時可根據樣品表面質量選擇高精度和高速掃描兩種模式;
5.預編程分析功能∶
?可在測量前設置好數據處理和分析流程，實現測量到分析的一鍵。式操作，有效縮減操作步驟；
6.同步分析功能∶
視圖與分析工具同框設計，支持視圖直接操作，分析工具實時更新分析結果，實現分析過程的所見即所得，大大縮減操作時間。
復合型掃描算法：集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優點的 EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等 所有類型樣品，無須切換，操作便捷；
自動測量功能：批量樣品測量，無須精確對焦， 即可一鍵完成測量分析；
雙重防撞保護功能：Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、 軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護， 多一重安心。
地面&聲波振動噪聲隔振模塊：氣浮隔振系統&經過內部抗振處理的測頭， 能夠有效隔離地面振動噪聲和空氣中傳播的聲 波振動噪聲，保證在嘈雜的車間環境也可正常工作；
環境噪聲檢測功能：*的環境噪聲評價功能能 夠定量檢測儀器當前所處環境的 綜合噪聲數值，對儀器的調試、測試可靠性提供指導；
完善的售后服務體系：遵循客戶的原則，設備故障時間遠程&現場解決，軟件免費升級。
| 型號 | HSR-05 | HSR-05Pro | HSR-08 | |
| 光源 | 白光LED | |||
| 標配影像系統 | 1024×1024 | |||
| 標配干涉物鏡 | 10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選） | |||
| 標配視場 | 0.98*0.98mm | |||
| 物鏡塔臺 | 3孔手動 | |||
| XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200mm | 300×300mm | 400×400mm |
| 移動范圍 | 140×110mm | 200×200mm | 300×300mm | |
| 負載 | 10kg | |||
| 控制方式 | 電動 | |||
| 水平調整 | ±5° | ±6° | ||
| Z軸聚焦 | 行程 | 100mm | ||
| 控制方式 | 電動 | |||
| Z向掃描范圍 | 10 mm | |||
| Z向分辨率 | 0.1nm | |||
| 可測樣品反射率 | 0.05%~99% | |||
| 粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | |||
| 臺階測量 | 準確度 | 重復性 | ||
| 0.3% 1σ | 0.08% 1σ | |||
注：粗糙度性能參數依據 ISO25178-2012 國際標準在實驗室環境下測量Sa為0.2nm硅晶片Sq 參數獲得；臺階高性能參數是依據 ISO4287-1997在實驗室環境下測量4.7µm臺階高標準塊獲得。
可廣泛應用于對器件表面質量要求的半導體、光學加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料、薄膜制備、超精密加工等工業企業領域，以及高校、科研院所和計量機構等研究、檢測型單位。
