MS-20型倒置金相顯微鏡采用優良的無限遠光學系統,可提供的光學性能。緊湊穩定的高剛性主體,充分體現了顯微操作的防振要求。模塊化的功能設計,可以方便升級系統,實現偏振觀察、暗視場觀察等功能。照明系統充分考慮散熱性與安全性,可快速更換燈泡。符合人機工程學要求的理想設計,使操作更方便舒適,空間更廣闊。可用于半導體硅晶片、LCD基板、固體粉未及其它工業試樣的顯微觀察,是材料學、精密電子工程學等領域研究的理想儀器。
技術參數:
技術規格 (標準配置) | |||
目鏡 | 大視野 WF10X(視場數Φ22mm) | ||
無限遠平場 消色差物鏡 | MS-20 (配明場物鏡) | PL L10X/0.25 工作距離:20.2 mm | |
PL L20X/0.40 工作距離:8.80 mm | |||
PL L50X/0.70 工作距離:3.68 mm | |||
PL L100X/0.85(干式) 工作距離:0.40 mm | |||
MS-20BD (配明/暗場物鏡) | PL L5X/0.12 BD 工作距離:9.70 mm | ||
PL L10X/0.25 BD 工作距離:9.30 mm | |||
PL L20X/0.40 BD 工作距離:7.23mm | |||
PL L50X/0.70 BD 工作距離:2.50 mm | |||
PL L100X/0.85 BD 工作距離:0.40mm | |||
目鏡筒 | 45?傾斜,瞳距調節范圍53~75mm. | ||
調焦機構 | 粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm | ||
轉換器 | 五孔(內向式滾珠內定位) | ||
載物臺 | 機械移動載物臺,外形尺寸:242mmX200mm,移動范圍30mmX30mm. | ||
圓形可旋轉載物臺板尺寸:外徑Ф130mm,最小通光口徑小于Ф12mm. | |||
照明系統 | MS-20 | 6V30W鹵素燈,亮度可調 | |
MS-20BD | 12V50W鹵素燈,亮度可調 | ||
內置視場光闌、孔徑光闌與拉板式起偏器 | |||
配磨砂玻璃,黃、綠、藍濾色片 |