衍射儀薄膜測量附件由多層膜反射鏡和三維薄膜樣品架組成，實現對大于20nm薄膜樣品測量。可實現對薄膜樣品進行薄膜反射分析XRR(針對多晶、單晶多層薄膜厚度、密度、粗糙度進行精確分析）、薄膜掠入射分析GIXRD(精確分析多層膜中材料的組成、次序、取向等)。
三維薄膜樣品架
四維薄膜樣品架與測角儀安裝設有定位裝置，激光測距定位衍射面，安裝、拆卸方便，即插即用，無需調整光路。可測量樣品尺寸：φ70×10mm（或按用戶要求設計可以測量樣品尺寸）、樣品升降精度（Z）軸：1μm。
| 范 圍 | 參 數 | |
| PSI角 | 轉動范圍0-70° | 轉動精度0.1° |
| CHI角 | 轉動范圍±5° | 轉動精度0.05° |
| Z軸 | 距離0～15mm | 精度0.001mm |
平行光源由多層膜反射鏡（G?bel Mirror）和腔體及腔體調整機構組成，安裝機構與衍射儀前索拉狹縫體實行互換，平行光源在出廠前已經調整好了，操作人員不需要調整。
G?bel Mirror鏡平行光發散度小于0.028°，反射效率大于70%
薄膜樣品XRR衍射譜圖
搖擺測量衍射譜圖
薄膜掠入射分析GIXRD測量
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
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