儀器簡介：
XAD是一款上照式全元素光譜分析儀，可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區RoHS檢測及多元素成分分析，*的算法及解譜技術解決了諸多業界難題。
被廣泛用于各類產品的質量管控、來料檢驗和對生產工藝控制的測量使用。
產品優勢：
微小樣品檢測：最小測量面積0.008mm2
變焦裝置算法：可改變測量距離測量凹凸異形樣品，變焦距離可達0-90mm
自主研發的EFP算法：AI(3)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂鍍層檢測，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精準測量
*的解譜技術：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限
高性能探測器：SDD硅漂移窗口面積20/50mm2探測器
X射線裝置：微焦加強型射線管搭配聚焦裝置
上照式設計：實現對超大樣品或者密集點位進行快、準、穩高效率測量
可編程自動位移：選配自動平臺，X210*Y230*Z145mm行程內無人值守自動測量
多準直器自動切換
XAD是一款上照式全元素光譜分析儀，可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區RoHS檢測及多元素成分分析，*的算法及解譜技術解決了諸多業界難題。
被廣泛用于各類產品的質量管控、來料檢驗和對生產工藝控制的測量使用。
產品優勢：
微小樣品檢測：最小測量面積0.008mm2
變焦裝置算法：可改變測量距離測量凹凸異形樣品，變焦距離可達0-90mm
自主研發的EFP算法：AI(3)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂鍍層檢測，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精準測量
*的解譜技術：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限
高性能探測器：SDD硅漂移窗口面積20/50mm2探測器
X射線裝置：微焦加強型射線管搭配聚焦裝置
上照式設計：實現對超大樣品或者密集點位進行快、準、穩高效率測量
可編程自動位移：選配自動平臺，X210*Y230*Z145mm行程內無人值守自動測量
多準直器自動切換
