新宇宙半導體材料氣體檢測儀XPS-7
検知対象ガス半導體材料ガス
ガス採気方式自動吸引式
検知原理定電位電解式
質量約1.3kg
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１臺で様々な半導體材料ガスを検知可能。
用途
半導體工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
新宇宙半導體材料氣體檢測儀XPS-7
新宇宙半導體材料氣體檢測儀XPS-7
型式 | XPS-7 |
検知対象ガス | 半導體材料ガス |
ガス採気方式 | 自動吸引式 |
検知原理 | 定電位電解式 |
質量 | 約1.3kg |
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１臺で様々な半導體材料ガスを検知可能。
用途
半導體工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
特長
*ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１臺で様々な半導體材料ガスを検知可能。
*カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。
*重さわずか1.3kgの小型•軽量タイプ。
*ガス濃度の変化により、警報音（斷続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
仕様
型式 | XPS-7 |
検知対象ガス | 半導體材料ガス |
ガス採気方式 | 自動吸引式 |
検知原理 | 定電位電解式 |
検知範囲 | 仕様による |
分解能※1 | フルスケールの100分の1又は、200分の1表示 |
指示精度※2 | FS±10％以內 |
警報方式 | ブザー（斷続音）、アラームランプ點滅 |
応答時間※3 | 60秒以內 |
使用溫度範囲 | 0℃～40℃ |
電源 | 単3形アルカリ乾電池4本 又はAC専用アダプタ |
連続使用時間※4 | アルカリ乾電池使用時：12時間以上（無警報時、20℃の場合） |
外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
重量 | 約1.3kg |
標準付屬品 | ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
オプション | AC専用アダプタ（AC100V/DC6V）、センサ専用通電臺、ログデータ収集キット |
※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測定條件による。
※3 60％応答。
※4 環境條件、使用條件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
