德國斯派克分析儀器推出的 SPECTRO MIDEX M多功能X射線熒光光譜儀（XRMF）適合于微小樣品及微小區域的元素分析，分析樣品的形態可以為固體或液體，分析過程對樣品沒有損害。
儀器的樣品臺采用XYZ三軸步進馬達驅動，可對大到250*250mm(10*10"樣品的表面進行線性掃描和元素分布分析。專門設計的樣品室，可適用于超大尺寸的樣品分析，可在三個不同的方向觀測樣品。樣品臺可以整體拉出，便于調節樣品位置。儀器內設有大倍率變焦雙攝像系統，可準確地確定測量位置。
　　儀器可以鎖定樣品的某個點或表面某個區域，然后進行掃描分析。SPECTRO MIDEX M配有的軟件可評估測量點，并將所選定樣品區域內的元素成分以圖表形式顯示出來。
　　SPECTRO MIDEX M 配有高分辨的檢測系統，并采用點對點激發，確保了儀器優異的分析性能。通過程序控制的四種準直系統,SPECTRO MIDEX M可根據不同分析要求，來調節元素分布分析的分辨率。SPECTRO MIDEX M在單位時間內接收的熒光脈沖數量比傳統技術多2倍，這樣就可以在短短的幾個小時內完成深入細致的元素分布分析。對于鈉等輕元素的分析，可采用在分析點充入氦氣的方法進行分析。SPECTRO MIDEX M也非常適合于未知樣品的點的快速分析，在2分鐘內即可完成從鈉到鈾的全分析。
　　SPECTRO MIDEX M 不僅是生產過程中理想的分析儀器，也適合各種科學研究和實驗室分析，它可以分析體積很小的樣品、研究材料組成，測定樣品表面的元素成分等。

技術規格：
激發源
· Mo靶的X光管
· 風冷
· 達到功率：30W
· 電壓：50kV
· 達到電流：0.8mA
· 測量點尺寸（程序控制）：0.1mm,0.3mm,0.5mm,1mm
樣品室
· 長：540 mm
· 寬：600 mm
· 高：250 mm
· 雙攝像機成像系統
· XYZ三軸步進馬達驅動， 達到行程 250*250*150mm（10*10*6"）最小步進（分辨率）2.5μm
· 符合嚴格的ξ3 RoV(德國X射線標準)輻射防護標準
計算機
· 臺式Pentium™計算機
· Windows™操作系統
· 鍵盤和鼠標
· 顯示器
· 打印機
軟件
· 菜單式軟件，光譜儀參數調整和數據評估及計算，元素成分及分布顯示
檢測器
· Peltier 冷卻的Si漂移半導體計數器
· 以Mn Kα線，在測量計數率為1000 脈沖計數時，能量分辨率為：FWHM<150 eV
· 達到計數率可達100,000 cps
其它規格
· 電壓:100 -127或，200-240V,50/60 Hz,16A
· 光譜儀功率：500VA
· 儀器尺寸：
長：612 mm
寬：720 mm
高：790 mm
底座尺寸:
長：612 mm
寬：640 mm
重量：80 kg