PEG100 中真空至超高真空真空計
INFICON PEG100潘寧規可提供可靠的高真空測量。 堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現燈絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低,真空計還可在濺射應用環境下運行。 現場總線選件,除了對數模擬輸出信號外,允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議將真空計輕松集成到真空系統中。
益處
- 測量范圍廣,從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
- 全金屬冷陰極傳感器(潘寧),帶陶瓷饋入裝置
- **的電極幾何形狀提供**的點火屬性
- 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險,即使在有氬氣的濺射運行中
- 陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
- *小化真空計附近的磁場強度
- 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
- 對數模擬輸出信號
- 現場總線接口(Profibus DP、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中
典型應用
- 高真空壓力監控
- 蒸發濺射系統
- 高真空范圍內的一般真空測量和控制