FS LINE采用大型掃描儀和大型水槽 可應(yīng)對(duì)FineSAT系列裝置不能應(yīng)對(duì)的大型對(duì)象物(如FPD、面向太陽能電池的濺鍍靶材、陶瓷零部件等不斷大型 化的材料、零部件)的檢查。 除了單焦點(diǎn)探頭用的FS LINE以外,還準(zhǔn)備了同時(shí)使用單探頭和陣列探頭,可以縮短大型對(duì)象物的檢查時(shí)間的FS LINE Hybrid。同時(shí),作為選購件,還準(zhǔn)備了用于檢查筒狀/圓柱狀對(duì)象物的表面的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。關(guān)于水槽和掃描儀尺寸,也請(qǐng)隨時(shí)咨詢。 | ![]() |
FS LINE | FS LINE Hybrid | |
探頭方式 | 單探頭的機(jī)械掃描方式 | 支持機(jī)械掃描或相控陣探頭電子掃描兩種方式 |
接合部分的檢查時(shí)間事例(*) | 約10分鐘 | 1分30秒 (通過相控陣探頭的電子掃描進(jìn)行測(cè)定) |
*(測(cè)定范圍2,500×300mm、2mm間距掃描時(shí))
特點(diǎn)、規(guī)格:
FS LINE能進(jìn)行高精度的測(cè)定,還擁有基于FineSAT的使用方便性,並重視安全性。
FS LINE Hybrid在低頻范圍的陣列探頭上實(shí)現(xiàn)了高阻尼化。 這樣,可同時(shí)進(jìn)行靶材和背板的接合檢查和靶材內(nèi)部的孔隙檢查。
而且,單焦點(diǎn)探頭難以檢查的邊緣斜面用斜角電子掃描也可進(jìn)行檢查。型號(hào) 新型裝置 同時(shí)發(fā)送接收數(shù)量 *多32個(gè)振子 支持振子數(shù) *多128個(gè)振子 陣列方向電子聚焦 可編程 接收范圍 5, 10, 15MHz
掃描儀有效掃描范圍:
有效掃描范圍4,000×2,000的事例有效掃描范圍 750×800 1,550×2,000 4,000×2,000