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ALD INFICON 探頭(傳感器)

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號ALD
  • 品牌Inficon/英福康
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-07-15
  • 廠商性質代理商
  • 入駐年限16
  • 實名認證已認證
  • 產品數量382
  • 人氣值539714
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產地進口 加工定制
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平(QCM)測量的可重復性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達 450ºC 的高溫,設計在嚴苛的 ALD 應用環境中運行。裸露的晶體電極*接地以有效地消除與電干擾有關的任何潛在問題。
INFICON 探頭(傳感器) 產品詳情

INFICON ALD探頭(傳感器)

在 ALD 應用中實現準確度、正常運行時間和最少維護
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平(QCM)測量的可重復性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達 450oC 的高溫,設計在嚴苛的 ALD 應用環境中運行。裸露的晶體電極*接地以有效地消除與電干擾有關的任何潛在問題。
專為 ALD 而設計
INFICON ALD 傳感器*的一種功能是導氣管,通過它可使用惰性氣體吹掃晶體和傳感器后側,通常使用氮氣。這可防止反應室的氣體進入傳感器頭,并確保晶體背面和電氣觸點無沉積材料。這種技術可在不適合使用標準 QCM 的系統中實現現場測量。
饋入件和饋入件連接
INFICON ALD 傳感器可采用自定義焊接長度,也可采用長度可調的壓縮接頭而無需銅焊或焊接。所有配置都使用 2 3/4in. (CF40) ConFlat® 法蘭饋入件。
高溫晶體實現更準確的測量
與 INFICON 的新型高溫石英晶體結合使用時,INFICON ALD 傳感器可在高溫應用中達到測量精度和較低的頻率噪聲。這些高溫晶體針對 120、240 和 285°C 應用進行了優化,因此您總能獲得適合自己應用的正確晶體。也可提供針對其他溫度優化過的晶體。請根據自己的需求聯系 INFICON。

功能

  • 工作溫度高達 450°C

  • 氣體吹掃管路可防止晶體背面出現沉積材料

  • 焊接式 Conflat 法蘭 (CF40) 選件

  • O 形密封環壓縮接頭選件

  • 提供高溫晶體

好處

  • 與大多數 ALD 過程溫度兼容

  • 明顯減少維護工作

  • zuidahua系統運行時間

  • zuidahua測量精度

  • 在高過程溫度下可獲得低噪聲的穩定讀數

典型應用

  • 原子層沉積 (ALD)

INFICON 探頭(傳感器)














































































































關鍵詞:標準 傳感器
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