- 用途
- 技術參數
1、用于球面及非球面檢測；
2、測量大型聚焦光學系統；
3、原位過程控制；
4、大型望遠鏡光學系統；
5、光學元件的質量驗證；
6、真空和環境腔室測試。
序號 | 指標名稱 | 指標參數 |
1 | 描述 | 一站式振動不敏感動態泰曼格林干涉儀 |
2 | 采集模式 | 單個相機，高速光學相位傳感器 |
3 | 激光源 | 穩定632.8nmHeNe激光器 |
4 | 空腔長度 | >100 m |
5 | 偏振態 | 圓偏光 |
6 | 光瞳變焦范圍 | ±12.5 mm |
7 | 光瞳放大率 | 固定，3倍數字變焦 |
8 | 條紋襯度 | 用戶可調節的反射率從1-99% |
9 | 相機 | 2448*2048 Pixel,12bit |
10 | 計算機系統 | 雙核2.4GHz處理器4GB內存，320GB硬盤CDRW，DVDRW，22英寸液晶顯示器，鍵盤，鼠標 |
11 | 操作系統 | Windows 10 |
12 | 系統軟件 | 分析軟件與用戶手冊瞬時移相位數據采集參考生成，數據平均，峰谷值（PV值）、標準偏差（RMS）、等高圖、三維立體圖、干涉條紋圖、X-Y剖面圖、MTF光學傳遞函數、PSF點擴散函數、波前梯度等。升級-保修期間免費 |
13 | 物理尺寸 | 測量頭：<19.5×16.2×220.00000000000003px 激光源：68x25x17.5cm |
14 | 重量 | 測量頭：<4.2kg激光源：9.7kg |
15 | 靜止熱耗散 | 干涉儀5W，源模塊22W |
16 | 功率 | <50W在220V交流儀器和電源模塊 <750W在220V交流下，帶計算機和顯示器 |
17 | 保修單 | 一年，現場系統安裝和操作人員培訓 |
配件 | ||
18 | 球面鏡頭 | F5,F12,F22 |
19 | 五維調整架 | X、Y、Z、和傾斜度 |
20 | 擴展精度包 | 均方根精度提高了2倍 |
系統性能 | ||
21 | 采集速度 | ＞10幀/秒 顯示 4幅干涉圖/幀，＞12幀/秒 數據采集帶后數據處理 |
22 | 最小曝光時間 | 30 µs |
23 | 樣品反射率 | 1-99% |
24 | RMS重復性 | 0.001λ* |
25 | RMS精度 | 0.002λ** |
