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  • NSC-3000 (A) 全自動磁控濺射系統

NSC-3000 (A) 全自動磁控濺射系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2022-08-03
  • 廠商性質其他
  • 所在地區深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量230
  • 人氣值711
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深圳市科時達電子科技有限公司創建于2011年,經過十年的發展,已經成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫療設備三大產品領域的,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工電子材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等。科技創新是科時達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業化的技術研發和管理團隊,建立了國內的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構與大專院校開展“產、學、研”合作,成功開發出一系列具有高科技含量的市場產品,公司產品通國內科研機構的產品認證。同時,公司擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系,在電子裝備、醫療設備、產業基礎、網絡安全等領域占據技術主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內科技現代化、加快數字經濟發展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優電子裝備、做大儀器設備、做精產業基礎、做強研發銷售”的總體布局,持續優化核心業務體系,推動企業在科技現代化建設、現代產業體系建設的核心關鍵技術節點上“布點”,在產業鏈價值鏈創新鏈關鍵環節上“成線”,在關系國家、國民經濟命脈和國計民生關鍵領域上“控面”。做強電子裝備,重點發展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統級裝備和產品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高校科研領域和高科枝企業的提供地位。做大儀器設備,重點發展半導體儀器基礎設施和醫療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網絡信息體系的聯合和全域能力提升、國家治理能力提升和數字化發展。做精產業基礎,重點打造形成電子基礎產品科研和生產的基礎支撐能力,以夯實產業鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發展。做強研發銷售,致力于電子產品的研發。科時達公司是一家,多年來公司研發團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫療設備的研發。同時企業還致力于將產品做好國內外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質量求生存,科時達公司以超凡的品質和優良的服務,獲得國內外市場的一致認可;公司營銷網絡覆蓋,產品世界各地,目前已經成為國內電子科技行業中重要的生產制造基地。
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NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,到6旋轉平臺,可支持到3個偏軸平面磁控管。
NSC-3000 (A) 全自動磁控濺射系統 產品詳情

NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,到6"旋轉平臺,可支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-3000(A)帶有14”立方形鋁質腔體,32”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,260 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。

NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統產品特點:

  • 不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃

  • 70或250l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

  • 13.56MHz300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機控制

  • 帶密碼保護功能的多級訪問控制

  • *的安全聯鎖功能

  • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片

NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統選配項:

  • 不銹鋼腔體

  • RFDC濺射

  • RFDC偏壓(1000V

  • 樣品臺可加熱到700°C

  • 膜厚監測儀

  • 基片的RF射頻等離子清洗

NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統應用:

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆

  • 光學以及ITO涂覆

  • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

  • RF射頻等離子放電的反應濺射


關鍵詞:直流電源
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