中國激光干涉儀SJ6000的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。
如數(shù)控機(jī)床在裝配完成后，其定位精度一般是達(dá)不到出廠標(biāo)準(zhǔn)要求的，單純靠提高零件加工精度，或者提高裝配質(zhì)量來保證機(jī)床精度，將增加制造成本，而使用數(shù)控系統(tǒng)的“螺距誤差補(bǔ)償”功能，對(duì)數(shù)控機(jī)床的誤差進(jìn)行補(bǔ)償，是一種即有效又經(jīng)濟(jì)的方法，SJ6000激光干涉儀可以精確的進(jìn)行誤差測量和補(bǔ)償。
產(chǎn)品功能
1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
2.可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
5.具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
6.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
性能特點(diǎn)
1.集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；
2.采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；
3.采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級(jí)的分辨率；
4.采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；
5.采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>
中國激光干涉儀SJ6000采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗擾力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測量大距離用。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
