測量范圍:200mm ×100 mm
分辨率:0.0002mm
準確度:(1+L/100)μm(其中L為被測長度,
單位為mm)
工作臺
方工作臺尺寸:260mm×270mm
方工作臺承放工件高度:140mm
工作臺承重:40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30′
物鏡
CCD 攝像頭
1/3英寸彩色(或黑白)CCD
像素數:795×596
光學定位器
最小探測孔徑: φ5mm
探測深度:15mm
測量力:0.1N
測頭直徑的檢定極限誤差:0.0005mm
環境要求:室溫20℃±1℃,相對濕度40%-60%RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質量: 450kg