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單溫區PE-CVD系統

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  • 所在地合肥市
  • 更新時間2022-06-16
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產品特點高性能射頻電源.等離子體更穩定;滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低
單溫區PE-CVD系統 產品詳情

產品特點

 

  • 高性能射頻電源.等離子體更穩定;
  • 滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;
  • 可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。

 

技術參數

 

項目
型號
TFE - 1200 - 50 - - 220
可達溫度
1150℃(短期)
額定溫度
1100℃
推薦升溫速率
≤10℃/min
控制精度
±1℃
爐管尺寸
Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸
Φ80*220mm
加熱區長度
220mm
恒溫區長度
80mm
加熱元件
優質國產電阻絲
額定功率
3KW
供氣系統
三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
射頻電源
射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動匹配
真空系統
雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)
外形尺寸
1250*510*810mm

 

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
關鍵詞:真空泵
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