任何機床加工設(shè)備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時，就需要使用激光干涉儀進行精度的再校準，sj6000激光干涉儀可同時測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準，加工精度會大大提高。
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實例斜床的傾斜軸測量
輕型線性鏡組附件應(yīng)用實例
sj6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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通過與不同的光學鏡組結(jié)合，能實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
