性能和規格

外形尺寸

應用領域

• 半導體和平板顯示器制造
• LED制造
• 鍍膜設備
• 制冷設備和空調的元件及部件
• 低溫壓力容器
• 閥門氣密性
• 撿漏航空部件，配件及系統

而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預計可用于下一代450 nmm半導體晶圓加工。
島津制作所半導體儀器事業部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領域已經占領了30 %的*。”“島津TMP在的普及反映了我們為滿足不斷變化的行業需求而提供的創新設計和技術支持的歷史。”
事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機設計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了建模技術來模擬TMP性能。”“我們所有的商用TMP系統均在島津內部制造完成。通過這種方式，我們確保了產品的質量和性能。”

在需要超高真空的真空工業和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環境中垂直、倒置或水平安裝。本設備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。

1179A01312CR1BV-K [ MKS ]

質量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，范圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P

1479A01353CR1BM [ MKS ]

質量流量控制器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，范圍：5SLM，類型：VCR

649A12T51CAVR-S [ MKS ]

質量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL

649A-14943S [ MKS ]

質量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013

P8A-26808 [ MKS ]

質量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR

DLT2A2231A1P210 [ MKS ]

質量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P