Thermo Scientific ESCALAB™XI 能滿足您對分析性能和靈活性的要求+X射線光電子能譜儀是一款具有高靈敏度和高分辨率能實現表面元素定量的儀器;同時，也是一款具有成像功能以及其他可擴展功能能實現多技術連用的平臺。

ESCALAB XI配備了微聚焦單色化X射線源，旨在提供的XPS分析性能+X射線光電子能譜儀能滿足大吞吐量樣品測試需求多技術能力、一系列靈活的樣品制備室及樣品處理設備，使該儀器在解決任何表面分析問題時都能游刃有余。利用*的 Avantage 數據采集和處理系統，從測試數據中挖掘盡可能多的信息。

The ESCALAB XI+ X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe Features:

· 高靈敏度能譜

· 小面積 XPS

· 深度剖析能力

· 角分辨 XPS

· 標配離子散射能譜 (ISS)功能

· 標配反射電子能量損失譜 (REELS)功能

· 標配“樣品預處理”室

· 多技術分析的多功能性

· 多個樣品制備技術可選

· 全自動無人值守式分析

· 多樣品分析

單色化X射線源

· 雙晶體微聚焦單色器配備一個 500 mm 直徑的羅蘭圓，使用鋁陽極靶

· 樣品 X 射線光斑尺寸可選擇范圍為 200 至 900 μm

透鏡、分析儀和檢測器

· 透鏡、分析儀和檢測器構成XPS檢測系統+XPS光譜儀在成像和微區方面的分析能力都是無二的

· 兩種類型的檢測器可以確保為每種分析提供檢測——用于成像的二維檢測器和適用于高計數率檢測的電子倍增器

· 透鏡配備了兩個電腦控制的虹膜機構 - 一個允許用戶將透鏡的視野控制在<20μm以下進行微區分析，另一個控制透鏡的接收角度，以便獲得高質量角度分辨數據

· 180° 半球型能量分析器

深度剖析

· 數控式 EX06 離子槍是一款高性能的離子源，哪怕在使用低能離子源時也有著很好的性能

· 提供方位角樣品旋轉

· 多技術能力

· 可配備其他分析技術而不降低 XPS 檢測性能

· 使用 EX06 離子槍時透鏡組和能量分析儀的電源可反向(確保離子散射能譜 (ISS) 可用)

· 電子槍可加壓升至 1000 V，為 REELS 提供優異的離子源

技術選項

· 非單色化 X 射線光源的XPS分析

· AES(俄歇電子能譜)

· UPS(紫外光電子能譜)

真空系統

· 5 mm 厚高導磁m金屬分析室，提高磁屏蔽效率

· 與使用內部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

樣品制備

· 系統標配一體化的快速進樣室和制備室

· 額外的制備室可選

Avantage 數據系統

· 集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數據采集、數據處理和報告生成

· 允許遠程控制，并且可輕松與第三方軟件交互(例如 Microsoft Word)

· 管理從樣品載入到報告導出的整個分析過程