腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體，如反應中間產物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體。
20年前，Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀，初期主要應用于半導體行業的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來，Hiden在這一細分領域具有強大的產品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。
HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。
主要特點：
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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