低壓等離子清洗機 Diener NENO系列
低壓等離子技術，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。等離子效應可分為以下三類：
一微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減
二化學反應：材料表面與離子化的氣體發生化學反應
三紫外線放射：紫外射線將長鏈碳化合物分解
NANO多種配置，*不同客戶需求
VERSION A | VERSION C |
VERSION D |
VERSION B |
VERSION E |
Nano 等離子系統能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Nano 等離子系統一同使用的見的選裝件： Nano 等離子系統主要應用于以下領域：
分析
考古
汽車行業
研究和開發部門
半導體技術
小批量生產
塑料技術
醫療技術
微系統技術
傳感器
滅菌
紡織技術
技要參數：
Nano系列 | |
控制系統 | 半自動型 PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 18~36L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計時器 | 數字型 |
高頻電流發生器 | 40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有發生器均為 0 - 99% 無級可調型 |
真空泵 | 規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要） |
電源 | 臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位 |
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。
