ZFH-3復(fù)合中真空測量儀是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測量儀，配用ZJ-54D熱偶規(guī)管及ZJ-10中真空電離規(guī)管，能測量267～1X10-4Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機，ZFH-3復(fù)合中真空測量儀具有許多**性能：
采用單片微機進行數(shù)據(jù)處理，真空度讀數(shù)數(shù)字顯示，測量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
電離規(guī)管的除氣可以自動或手動進行。
量程自動切換。當真空度下降，**出電離規(guī)管測量范圍時，儀器可以自動停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數(shù)據(jù)。當真空度提高時，則可自動啟動電離部分工作。
采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定，簡單、方便、直觀、準確。
真空度單位自動轉(zhuǎn)換。
具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。
帶有三個繼電器觸點，動作真空度可以數(shù)字設(shè)定。
當真空度高于10-2Pa時，可以自動標定熱偶規(guī)管的加熱電流。
儀器帶有RS—232或RS-485串行數(shù)據(jù)通訊接口，與上位計算機通訊方便。
由于采用單片微機作為儀器的控制單元。ZFH-3復(fù)合中真空測量儀除了上述特點外，它的另一個顯著特點是軟件可修改性強，可以在基本不動或少動儀器硬件結(jié)構(gòu)的情況下，修改儀器功能，創(chuàng)造出功能全新的儀器。
2. .主要技術(shù)條件：
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測量范圍： 101KPa～0.1 Pa
測量誤差： 267～1 <±20%
2.1.2 加熱電流調(diào)節(jié)范圍： 30mA±2.4mA 由數(shù)字設(shè)定
調(diào)節(jié)精度： <±0.5% ±2字
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ—54D 熱偶規(guī)管
2.2 電離部分：
2.2.1 真空度測量范圍： 10～1X10-4Pa
測量誤差： ±20%
2.2.2 電離規(guī)管發(fā)射電流： 50μA±3%(10-1～10-3 Pa)
500μA±3%(10-4Pa)
2.2.3 柵極電壓： 165V ±1%
2.2.4 自動除氣啟動真空度： 10-3Pa
2.2.5 自動除氣時間： 10分鐘
2.2.6 配用規(guī)管： ZJ-10
2.3 控制觸點：
2.3.1 控制觸點數(shù)： 3
2.3.2 控制觸點容量： 交流 220V/1A
2.4 使用環(huán)境：
2.4.1 環(huán)境溫度： +5～35度
2.4.2 相對濕度： <85%(25度)
