INFICON前載式雙探頭提供驗(yàn)證的可靠性和持久性，與市場(chǎng)上任何探頭探頭相比，

具有熱穩(wěn)定性。雙探頭提供備份晶體，在真空室內(nèi)需要第二個(gè)晶體的關(guān)鍵

過程中是至關(guān)重要的。

規(guī)格  配置

對(duì)于從側(cè)面插入無足夠空間的應(yīng)用，前載式結(jié)構(gòu)易于插入晶體架。采用機(jī)械裝配

代替焊接，必要時(shí)可現(xiàn)場(chǎng)方便地更換部件。探頭可單個(gè)訂購或訂購探頭/法蘭組合

可選焊接的或直口接頭裝配的結(jié)構(gòu)。 



探頭配置 
前載式雙探頭的標(biāo)準(zhǔn)配置中水管與晶片平行。當(dāng)晶體監(jiān)測(cè)沉積速率時(shí)，氣動(dòng)

晶體擋板保護(hù)備份晶體。擋板是下拉式結(jié)構(gòu),  

便于更換晶體。為有效地消除RF干擾，暴露的晶體電極是全部接地的。


法蘭 
INFICON  提供兩種法蘭，1"  螺紋法蘭或  2¾" (CF40) ConFlat®  法蘭。 按用

戶要求可提供 KF40 法蘭。
 
法蘭連接 
前載式雙探頭可訂購與法蘭的組合。探頭/ 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 ( 當(dāng)與

 1"  螺紋法蘭組合時(shí)) 。如需焊接連接，必須在訂購前填寫INFICON 提供的一個(gè)探

頭長(zhǎng)度規(guī)格表。直口接頭易調(diào)整，無釬焊或焊接的要求。法蘭可沿著管長(zhǎng)移動(dòng)，對(duì)

于 "E"  長(zhǎng)度探頭,  在真空系統(tǒng)內(nèi)的長(zhǎng)度可在 20.3  厘米至 71.1  厘米 (8"- 28")  的范

圍內(nèi)調(diào)整，對(duì)于 "G" 長(zhǎng)度探頭，一旦確定所需長(zhǎng)度，直口接頭可用手指擰緊管密封件。