| ZD-D1500是國(guó)內(nèi)C9大學(xué)、北京合創(chuàng)智達(dá)光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。
l 在中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、中國(guó)國(guó)家等單位應(yīng)用 |
ZD-D1500核心技術(shù)指標(biāo)均通過中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院等法定計(jì)量機(jī)構(gòu)的檢定校準(zhǔn)。
l 激光真空波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 1.2×10-8（k=3） l 動(dòng)態(tài)測(cè)量分辨力 0.3 nm l 速度 1500 mm/s l 數(shù)據(jù)更新率 10MHz |
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ZD D1500特征與優(yōu)勢(shì)
n 高測(cè)速與高精度的統(tǒng)一！突破了高速激光干涉儀的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理技術(shù)，無(wú)論是動(dòng)態(tài)測(cè)量還是靜態(tài)監(jiān)測(cè)，均可實(shí)時(shí)提供超精密測(cè)量結(jié)果！ n 非接觸多維振動(dòng)測(cè)量！采用自定義的VME硬件接口模式，更新速度10MHz，可實(shí)現(xiàn)即測(cè)即知，測(cè)量動(dòng)作延遲漂移小于0.3ns,引入動(dòng)態(tài)測(cè)量誤差小于0.5ns！ | n 本土化產(chǎn)品的快速供應(yīng)！國(guó)外激光測(cè)振儀出口受到嚴(yán)格管控，而本產(chǎn)品核心部件均來自國(guó)內(nèi)，30 - 50個(gè)工作日即可供貨，無(wú)需歷經(jīng)嚴(yán)苛的審批過程！ n 專家級(jí)成套解決方案！超精密級(jí)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度常被工作環(huán)境、對(duì)象等吞沒。依托本公司超精密測(cè)量專家團(tuán)隊(duì)，可提供非接觸性激光測(cè)量解決方案！ |
應(yīng)用領(lǐng)域
n 機(jī)械模態(tài)分析 n 振動(dòng)傳感器校準(zhǔn) n 微電子光刻機(jī) n 超精密數(shù)控機(jī)床 | n 高頻聲表面波測(cè)試 n 瞬態(tài)微觀位移捕獲 n 高速三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) n 高速機(jī)光測(cè)長(zhǎng)機(jī) |
ZD D1500技術(shù)規(guī)格
儀器整體規(guī)格 | |||
測(cè)量速度 | 1500 mm/s(可選2000 mm/s) | ||
測(cè)量分辨力 | 0.3 nm | ||
線性精度 | 0.1/0.012ppm(空氣/真空) | ||
數(shù)據(jù)采樣率 | 10 MHz | ||
穩(wěn)頻激光器 | |||
真空激光波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 | 1.2×10-8 (可選1.0×10-9) | ||
短期頻率穩(wěn)定度 | 2×10-9/3小時(shí) | ||
長(zhǎng)期頻率穩(wěn)定度 | 1.2×10-8/工作周期 | ||
激光輸出功率 | 0.2 - 0.5 mW | ||
干涉鏡組 | |||
單軸干涉鏡組 | 光學(xué)4細(xì)分 | ||
多軸干涉鏡組 | 光學(xué)4細(xì)分 | ||
光電接收器 | |||
探測(cè)頭散熱 | 0 mW | ||
可探測(cè)功率 | 0.5 - 50 μW | ||
電子細(xì)分卡 | |||
測(cè)量分辨力 | 0.3 nm@光學(xué)4細(xì)分 | ||
接口形式 | VME/USB | ||
數(shù)據(jù)更新率 | 10 MHz | ||
空氣折射率補(bǔ)償 | |||
氣壓測(cè)量精度 | 10 Pa | ||
濕度測(cè)量精度 | 0.8% RH | ||
溫度測(cè)量精度 | 0.02 oC | ||
材料溫度補(bǔ)償 | |||
溫度測(cè)量精度 | 0.02 oC | ||
測(cè)量通道數(shù) | 3通道 (可選15通道) | ||
使用要求 | |||
使用溫度 | 15 - 25 oC | ||
使用濕度 | 20 - 70 % RH | ||
工作時(shí)間 | 20 000 小時(shí) | ||
