應用及案例
● 大學/研究所 ● 環境監測 ● 真空鍍膜 ● 工業爐窯 ● 半導體 ● 汽車制造 ● 光伏 ● 燃料電池
● 計量 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 低價位產品
● 標配模擬控制方式，數字可選
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
性能指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 單種氣體標定，請參考背面氣體兼容表
量 程 從0-10SCCM 到 0-20SLPM（）
量 程 比 200:1
顯示流量：102.4%FS
精 度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ℃ / Atm
預熱時間：<1s
響應時間：100ms(可調)
標定工況：25?C & 100kPa 絕壓
工作溫度：-10 ～ +50℃
工作濕度：0-99%,無冷凝
標準工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓
中壓選項：2MPa
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
數字輸入/輸出信號：可選RS-232
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA
電氣接口：DB15
材質：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求
防護等級：IP40
