● Z軸通過電動手脈進行精準控制（對焦精度可達0.0005mm）

● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數量多的快速移動工作臺

● 高位目鏡觀察

● 千兆網口CCD圖像成像(HKVISION-300萬像素)

半導體測量工具顯微鏡2010技術參數

3.1主體規格

◆X坐標行程:    300（mm）

◆Y坐標行程：   200（mm）

◆Z坐標行程:    150（mm）
◆X、Y坐標測量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測長度(單位：mm)
◆X、Y、Z數顯分辨率：0.001mm  
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無極亮度可調

◆上光源：白色LED環形可調光源

3.2目視系統
◆雙目視鏡筒+標準的TV攝像機端口

◆物鏡：1.0-6.5X可連續變倍物鏡

◆目鏡放大倍數：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數：  10X-65X（包括畸變在內的）
◆物鏡放大倍數誤差：放大率誤差范圍在0.08%以內
3.3影像系統
◆標配CCD相機1X鏡筒

◆CCD：千兆網口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數：45X-285X

半導體測量工具顯微鏡2010軟件功能

l 配備專業視覺影像測量軟件，帶十字線捕捉閃爍功能，可測量二維平面尺寸（角度、直徑、半徑、點到點的距離、點到線的距離、線到線距離、線到圓的距離、圓到圓的距離等等）；

l 圖形自動捕捉：開啟自動捕捉功能后，測量點、線、圓及圓弧，可自動捕捉到最清晰的地方；

l 視覺拍照功能：可通過軟件抓拍實時產品圖片，然后保存到電腦里，并可通過軟件調出圖片進行查看或處理；

l 標注文字：可在實時影像中標注文字說明；

l 公英制轉換：測量值可在公制和英制之間切換；

l X、Y清零：可用畫面十字線設置任意點為相對原點，將X、Y坐標清零；

l 測量數據輸出：可將測量數據或圖形導入WORD或EXCEL做報表；

l  “瀏覽”窗口： 可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能；

l 輔助功能：可把在軟件中繪制出的圖形進行移動、旋轉、復制、刪除，并可作任意線段的平行線、垂直線；

l 自動兩點線：在單一畫面下可自動捕捉工件的邊緣，無須以人工取線，減少人眼誤差，提高測量精度；

l 自動三點圓：在單一畫面下可自動捕捉工件的圓半徑、直徑，并繪出圖形，無須以人工取圓，減少人眼誤差，提高測量精度；

l 自動多點線：自動捕捉工件邊緣，然后根據工件邊緣擬合出圖形，從而減少兩點取線及人眼的誤差；

l 自動多點圓：自動捕捉工件邊緣，然后擬合出工件的孔徑，并繪出圖形，從而減少三點取圓及人眼的誤差；

l 自動圓：在單一畫面下用鼠標框中圖形，可快速自動捕捉出圓.；

l 設定工件坐標：可以根據客戶本身的需要在影像中的實際工件上自行設定工件坐標，有兩點確定X軸、兩點確定Y軸或三點確定坐標系等多種設定方法；

l 具有坐標平移、坐標旋轉及坐標分中等功能：

l 坐標標注：可標注工件中任意點的坐標值；

l Pitch標注：可標注任意點到一條直線的垂直距離，可標注任意兩線的垂直距離