ME-L 穆勒矩陣橢偏儀
1、超寬的光譜范圍：采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm
2、雙旋轉補償器調制：高精度旋轉與觸發同步控制，實現高速光譜數據采集
3、全穆勒矩陣測量：基于雙旋轉補償器配置，可一次獲取穆勒矩陣的16個元素，相對于傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息
4、超級消色差補償設計：補償器技術，適應從深紫外到近紅外寬光譜范圍內高精度相位調制要求
5、豐富的材料數據庫和算法模型：數百種材料數據庫、多種算法模型庫、涵蓋了目前絕大部分的光學材料
6、向導式交互界面：軟件向導交互式人機界面操作，為用戶提供優質操作體驗
7、納米光柵分析能力：*分析算法模型實現各種納米光柵結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息提取
二、技術參數：
| 基本功能 | 一次性獲取穆勒矩陣、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 |
| 光譜范圍 | 380-1000nm（210-1650nm可選） |
| 測量時間 | 1-8s |
| 入射角范圍 | 45-90° |
| 光斑尺寸 | 2-3mm/200um |
| 重復性精度 | 0.005nm(100nmSiO2硅片) |
| 精度 （空氣介質） | 橢偏參數：ψ=45±0.05° Δ=0±0.01° |
| 穆勒矩陣：對角元素m=1±0.005 非對角元素m=0±0.005 | |
| 分析軟件 | 多達數百種光學材料庫，支持用戶自定義 |
| 多層各向同性/異性光學薄膜、周期性光柵結構建模仿真與分析功能 |
