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美國ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-03-26
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量458
  • 人氣值2235
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產品介紹:美國ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100 NewView 7100白光干涉儀是高性價比非接觸式表面輪廓儀。NewView 7100表面輪廓儀以其*的精密度和準確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、臺階高度
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美國ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7100

系統參數:

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置閉環反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器,

視場放大倍率:高質量分立放大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

成像放大: 電動位系統成像放大

◆視場:0.03-14mm,跟物鏡和放大倍率有關,運用圖像拼接技術可以得到更大范圍

◆光源均勻成像,高效率,特殊設計長壽命白光LED物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具

◆控制 :濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦)

◆測量陣列:標配640×480 像素;可選更高分辨率992×992

◆樣件觀察專用液晶顯示屏實時觀察

◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦

◆Z 軸驅動:直流無刷微步進電機驅動,200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ,NewView81×58×41cm , 

◆重量 :系統重量:約430Kg

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

◆計算機帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機

◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:位塔臺;電控 位塔臺; 

物鏡:  1X,2X,2.5X,5X,10X, 20X,50X,100X

◆樣品臺:手動,俯仰.傾斜(±6°)XY 平移(±100mm),電動,俯仰(±4°)XY 平移(152mm)電動俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-ThetaXY平移(152mm) 三種可選.

縱向掃描:150μm,拓展掃描模式可到20mm,

縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.369.5μm,與所選物鏡有關,

◆掃描速度 ≤26μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關

◆大數據點標準307200;可選984064

◆RMS 重復性 <0.01 nm, RMSσ

◆臺階測量 :準確度 ≤ 0.75% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ

◆測樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

◆大尺寸: 89×203×203mm(××);反射率: 1-99%


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