設備名稱 | 催化再生式氬氣凈化機 | |
設備型號 | CZA-4C | |
處理量 | ≤4Nm3/h | |
原氣 要求 | 純度 | 氬氣純度>99.95% |
雜質含量 | O2<1000ppm;H2O<1000ppm | |
輸出 純氣 | 純度 | >99.999% |
雜質含量 | O2≤0.5ppm; H2O≤2ppm(即露點≤-70℃); CO+CO2≤0.1ppm; 塵埃粒子數(≥0.3um)3~5個/升 | |
工作壓力 | ≤1.0Mpa | |
電 源 | 220V/50Hz/10A 1.6Kw | |
設備外形尺寸 | 440mm×560mm×1220mm | |
設備重量 | 120Kg | |
備 注 | CZA-4C凈化機只能將99.95%的氬氣凈化為99.999%,不能凈化氬氣中的氮氣。 |