元素周期表中的超輕元素，包括碳（C）、氮（N）、氧（O）、氟（F）、硅（Si）、磷（P）、硫（S）、氯（Cl），由于其外層電子密度低，熒光產額極低，X射線熒光光譜法難以獲得較高的靈敏度，尤其對碳、氮、氧、氟幾個元素，通常XRF無法分析其含量。同樣，針對這些輕元素，其它分析儀器也較難分析，通常采用化學分析的方法分析其含量，分析繁瑣、周期長，對分析工作者帶來困難。
高靈敏度X射線熒光光譜儀MERAK-ULE，采用兩項關鍵技術：、針對輕元素的單色化聚焦激發技術，更有效激發輕元素；第二、采用輕元素的元素熒光透過率*的SDD探測器。兩項X射線關鍵技術的成功應用，使得MERAK-ULE獲得分析超輕元素的能力。
X射線熒光光譜儀樣品制備簡單，一次性可以分析十幾個輕元素，極大減輕分析工作者工作量。MERAK-ULE是超輕元素分析的利器。
- • 超輕元素分析能力
能夠分析超輕元素碳（C）、氮（N）、氧（O）、氟（F）；
• 選擇性激發輕元素
采用高通量全聚焦雙曲面彎晶技術，將X射線管出射高強靶材特征譜單色化聚焦入射樣品，選擇性激發樣品中輕元素，降低背景干擾，提升峰背比；
• 較低的檢出限
針對輕元素單色化聚焦激發，獲得極低的檢出限；
• 樣品處理簡單
適用于固體、液體、粉末類樣品，僅對樣品的顆粒度和均勻性進行簡單處理；
• 低分析成本
單一分析樣品消耗極小，儀器穩定可靠，維護成本低；
• 分析效率高
樣品分析時間3-10分鐘，分析工作者從繁雜的實驗工作中獲得解脫； - • 元素檢出限表
范圍 超輕元素 輕元素 元素 碳 氮 氧 氟 硅 磷 硫 氯 檢出限 2.0% 1.0% 0.5% 0.2% 0.8ppm 0.5ppm 0.15ppm 0.1ppm
• 元素檢測范圍
元素周期表中從碳（C）到鈦（Ti）
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鋁電解質樣品GFC-1分析譜圖MERAK-ULE將元素分析范圍擴展到C、N、O、F，超輕元素在%含量范圍內能夠得到可靠定量結果
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