| 設(shè)備名稱 | 三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL （2019.11.14-科晶實(shí)驗(yàn)室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發(fā)光（圖1）； ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控； ? 此款設(shè)備可安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦（圖2、3）； ? 此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表（圖4）。
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| 基本參數(shù) | ? 工作溫度1500℃（<> ? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃，帶有超溫和斷偶保護(hù)； ? 輸入電源： 208-240V，AC，單相；功率：6.6 KW； ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料） ? 注意：此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購(gòu)買前請(qǐng)與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。
更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸：550mm L ′380mm W′520mm H ? 爐體下端移動(dòng)柜：1800mm L′600mm W′600mm H ? 凈重：100 kg ? 運(yùn)輸重量：550 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
