| 設備名稱 | 雙爐體滑動PECVD系統＆循環手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶實驗室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管連接； ? 兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數 | ? 連續工作溫度：1100℃ ? 兩個爐體都可設置30段升降溫程序 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ? 電源：AC220，50Hz 功率：3KW
更多參數請聯系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 手套箱參數 | ? 帶有除水系統：保持水含量< 2=""> ? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管連接
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸 | ? 爐體尺寸：1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H) ? 手套箱尺寸：780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)
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| 認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
